粉体网：请问栗教授，相比传统的硅衬底，碳化硅衬底的加工难点有哪些？栗教授：碳化硅晶圆衬底的莫
栗教授：碳化硅晶圆衬底的莫氏硬度在9以上，属于硬脆的难加工材料，加工精度要求很高，包括形状、尺寸和表面精度都属于超精密范围，例如TTV达到微米级，Ra要达到0.2nm以下。因此，碳化硅衬底对加工技术要求非常高，包括切割、磨削和抛光，从工具到工艺和装备都具有很大的难度。 著作权归作者所有。 商业转载请联系作者获得授权，非商业转载请注明出处。 链接：https://news.cnpowder.com.cn/78081.html 来源：中国粉体网
