产品概要

内置气驱式柱塞泵的高压水生成装置，集气压调节器、气压表、出口压力表等功能于一体，适用于设备集成。

用途

用作高压喷射清洗工具，用于晶圆的IPA清洗以及通过溶剂进行剥离等操作。

KPW 系列为一体化成套高压泵机组，内置 SSBL 系列气动柱塞泵，整合调压组件、压力监测仪表、管路阀件与安装机架，出厂完成管路集成调试，便于整机对接清洗设备。

纯气动驱动，无需供电，可部署于防爆无尘车间；支持外部 I/O 及串行通讯，实现启停、压力设定远程管控。整机适配晶圆高压 IPA 喷淋清洗、溶剂剥离工艺，输送纯水、IPA、NMP 等药液，对比单独采购泵头，可减少现场管路组装、调试工作量。多用于半导体湿法清洗设备配套、精密零部件高压喷射清洗工况。