ZEM-5 Series塞贝克系数/电阻测量系统可以对高温材料，高电阻材料，薄膜材料等多种材料进行测量。

应用：

评估半导体、陶瓷、金属等材料的热电性能。

特性：

1. 应用于各种材料的特性及特殊规格的薄膜等；

2. 测试Si系列(SiGe, MgSi). (HT 型) 的材料的**温度传感器是使用C型热电偶；

3. 标配V-I图自检测系统；

4. **测试温度1200℃（HT 型）；

5. **测量电阻10MΩ（HR 型）；

6. 测量在衬底上的热电沉积膜（TF 型）；

7. 温控范围在-150℃~200℃（LT 型）；

设备参数：

Seebeck系数测量方法  设备参数（HT型）