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jasco,真空紫外复曲折率计(BRV-100)

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产品介绍

概要美国国家标准技术研究所National Institute of Standards and TechnologyNIST表了CaF2等的氟化物双折射对于实现光刻的高解像度是很大的障碍虽然确立了补偿方法,克服这种问题,但是为验证这个方法是否可行,需要用到在真空紫外波长区域具有高灵敏度的双折射本装置是日本分光多年来积累的偏光测定技术在真空紫外领域的扩展,高灵敏度双折射量的解决方案。根据偏光变调法,在真空紫外波长区行氟化物等的双折射量。排除氧以及水的吸收所有的光路都进行氮气吹扫。

规格

BRV-100

BRV-100

长范围

140nm320nm

光刻灵敏度

0.05nm157nm

稳定性

1counth157nm

检测下限

0.17 nm157nm

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