PGS/PGM 1000光谱仪凭借优异的消像差设计，可实现一机两用，配合单通道探测器作为单色仪，配合CCD使用作为摄谱仪。光路由一片消像差平面光栅和一片超环面镜组成，为极紫外光谱分析优化设计。掠入射光路设计将可探测波长拓展到软X射线，与此同时，摄谱仪模式下焦平面垂直于出射光轴，使CCD上接受的光通量**化。

技术特点

HJY**的消像差平面光栅结合超环面镜，同时兼顾高分辨率和低像差。

在轴设计，光路易准直。

出射光直射CCD表面，光通量大。

只需更换出射狭缝和法兰，即可实现单色仪和摄谱仪之间的切换，一机两用。

支持超高真空10^-9mbar，可接入同步辐射装置。

光谱范围覆盖到4nm，4-16nm具有超高分辨率

典型应用

紫外可调滤波/光源

激光高次谐波

等离子体物理研究

X射线光电子能谱

EUV光源表征

技术指标

附件

前镜腔，配备两块超环面镜，实现光源和单色仪之间的光学匹配

后镜腔，配备两块超环面镜，实现单色仪和样品室之间的光学匹配

样品室，可搭载4块直径不大于25mm的样品

偏振插片

制冷机，*低至4K

真空泵