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仪器简介:飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)是一种非常灵敏的表面分析技术。可以广泛应用于物理,化学,微电子,生物,制药,空间分析等工业和研究方面。TOF-SIMS可以提供表面,薄膜,界面以至于三维样品的元素,分子等结构信息。
技术参数:
. 并行探测所有离子,包括有机和无机分子碎片。
. 无限的质量探测范围(实际测量中大于1000m/z 原子量单位)。
. 完全透过率下实现高的质量分辨率。
. 极高的横向和纵向空间分辨率(横向小于100纳米,纵向小于1纳米)。
. 探测灵敏度可达ppm或ppb量级。
. 质量探测分辨率(M/ΔM) >1000
. 质量探测准确度 ≥20 milli 质量单位
. 反射性分析器
. 5 分钟样品腔真空度可从大气环境达到真空工作环境
主要特点:
. 超高的表面灵敏度(1x109 atoms/cm2)
· 操作简单(? day training)
· 1 分钟分析,样品处理流程 <7分钟
· 导体和绝缘体表面均可测试
· 可得到元素和分子信息
· 从元素中分离出普通有机物
· 正电和负电的 二次离子质谱
· 同位素分析
· 分析面积 ~0.5 mm
· 溅射预清洗表面
· 提供材料数据库
专业科研型飞行时间二次离子质谱
MS-1000简易型飞行时间二次离子质谱,专业用于表面分析
MS-1000台式型,用于固体表面分子结构定性分析
MS-1000是飞行时间二次离子质谱,属于静态模式的SIMS,对于样品表面的分子非常敏感
MS-1000相比其它SIMS,比较便宜,性能价格比高,方便使用,15分钟可以得到样品表面信息。
MS-1000专业设计用于质量控制和错误诊断,生产时的指标监测,以及其它表面分析手段做不到的领域.
质谱分析仪和离子枪设计成一体,使得MS-1000成为全球*小的静态二次离子质谱!
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半导体制备中的污染,药物生产的准备和环境监测
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