TESCAN GAIA3电镜系统**的集成了超高分辨率的电子光学系统和高性能的离子束系统，二者配置于同一样品室上。GAIA3电镜以MAIA3场发射扫描电镜为平台，在保留MAIA3优越性能的基础上，增加了使用聚焦离子束进行样品表面处理的功能。GAIA3具有创新性的场发射电镜设计，低电压下仍具有出色的分辨率，大大提高了其成像能力。与一般电镜的电磁物镜相比，GAIA3具有较窄小的电磁物镜，同时InBeam-SE探头和InBeam-BSE探头的位置都位于透镜内，这些设计都为FIB及其他分析设备提供了充足空间，使之能够在样品表面完成多项工作。

GAIA3的突出特点

·单极60°电磁物镜设计，**的SEM分辨率

·一流的多种成像模式—大视场模式，分辨率模式以及景深模式—这些功能都基于TESCAN独有的大视场光学系统设计

·马达控制的精准样品台，可进行精确的移动或倾转操作

·Field-free模式下可对磁性样品进行有效观察

·高达200nA的束流强度

·停留时间低至20ns的快速电子束刻蚀速度

·FIB的Cobra光学系统，确保聚焦离子束极高的分辨率和优异的性能，离子束流为1pA到50nA

·强大的DrawBeam软件包，包含许多可编程设计模块（基础版和高级版）来实现扫描及制样等过程中可调参数的多样化

·不仅具有对样品表面进行修饰和观察的多种功能，**的空间设计还能够使电镜通过接口兼容多种探测设备与技术手段，且还能保持一致的**分析工作距离

GAIA3的功能特点

对纳米尺度物质的成像分析及控制，是当今顺利开展研究工作的关键，这要求前沿的技术手段具有分辨率、准确度、可重复性、稳定性以及灵活性等多方面的优异性能。

在前几代电镜系统的成功基础上，TESCAN推出了GAIA3新一代电镜系统。它保持了SEM****的纳米级分辨率特征，同时还集成了优越的COBRA-FIB聚焦离子束功能，使新一代GAIA3电镜拥有更加多元化的分析设备兼容性，提高了分析范围和分析能力。

GAIA3的一个突出优点在于它低电压下的扫描电子成像功能，分辨率很高。这对于研究电子敏感材料或是导电性差的样品极为重要，低电压可以降低电子与材料相互作用，从而保证好的分辨率同时还能获得好的低电压衬度。

COBRA-FIB聚焦离子束系统是一项顶尖技术，不论成像拍照还是样品微观加工，都能保持很高的尺寸分辨率，是纳米工程领域**的FIB设备。

系统灵活性与工具多样性

TESCAN致力于为科研人员提供操作便捷、结果可靠、系统稳定的解决方案与技术手段。TESCAN设备独特的用户分级设计能够满足所有操作者的需求，无论你是应用专家，还是偶尔操作人员（只需要通过简单操作便可获得出色的实验结果）。应用专家模式是为长期使用TESCAN电镜系统，能够充分了解和发挥电镜灵活性和扩展功能的熟练操作人员设计。TESCAN电镜系统将众多功能特点整合于全方位的交互界面，方便快速完成SEM和FIB各种工作模式与功能的观察条件设置。

使用GAIA3电镜可以轻松获得**的图像质量与衬度，尤其是其独特的低电压拍照功能。当然，二次电子（SE）与背散射电子（BSE）拍照模式在高电压与低电压条件下均可使用，获得高质量样品照片。

GAIA3还配备了先进的自由伸缩式STEM探头，使用FIB制得TEM薄片样品后可直接进行电镜观察。另外，在FIB与SEM双束电镜上安装飞行时间-二次离子质谱仪（TOF-SIMS），一方面能够提高质谱敏感性，另一方面使用FIB对样品表面连续进行连续切割，可获得样品质量分布的三维分布图。

GAIA软件与自动化操作系统
       TESCAN的用户友好型软件、许多自动化程序、远程控制系统及脚本库都致力于帮助用户获得出色的结果，得到业界与用户的一致认可。GAIA3更是为经验丰富的用户提供了专家级系统设置的访问权，使用户能够根据自身需求进行观察条件的**化设置。GAIA3拥有多用户使用环境、模块化软件设计、网络操作控制以及众多的扩展功能，是一款灵活全面的电镜设备。