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日新高温CVD系列 真空气氛管式炉

CVD系列

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合肥日新高温技术有限公司

安徽

产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

日新高温

型号:

CVD系列

关注度:

4584

创新点:

采用高纯石英管或刚玉管作为内炉膛,可拆卸式的三面密封方式,具有良好的洁净度和真空度;耐火、保温材料全部采用先进的轻质纤维制品,整机质量轻、能耗低;加热元件采用U型硅钼(碳棒或原装进口电阻丝;温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,温度控制具有良好的稳定性、重复性。

产品介绍

>应用领域

CVD系列真空气氛管式炉广泛适用于高、中、低温CVD工艺,例如:碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长、科研实验用石墨烯的生长等等;也可适用于金属材料的扩散焊接以及真空或保护气氛下热处理。


>主要特点

采用高纯石英管或刚玉管作为内炉膛,可拆卸式的三面密封方式,具有良好的洁净度和真空度;耐火、保温材料全部采用先进的轻质纤维制品,整机质量轻、能耗低;加热元件采用U型硅钼(碳棒或原装进口电阻丝;温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,温度控制具有良好的稳定性、重复性。


>技术指标

设备型号
CVD(D)-06/60/3CVD(Z)-06/30/1CVD(G)-07/50/2CVD(G)-09/50/1
上限温度1050°C1350°C1650°C/1000°C1650C
使用温度RT-1000°C850-1300°C1000-1600°C1000-1600°C
控制精度+1.5°C+1.5°C+1.5°C+1.5°C
温区个数3个1个2个1个
加热区长度600mm300mm500mm(300mm/200mm)500mm
炉管尺寸Φ60(外径)×1400mmΦ60(外径)×1000mmΦ70(外径)×1450mmΦ90(外径)×1450mm
炉管材料石英管刚玉管刚玉管刚玉管
发热元件进口电阻丝电阻丝/硅碳棒电阻丝/硅碳棒硅钼棒
装机功率4.5kW

3kW/8kW

8kW10kW
可选部件/V真空系统:单级机械泵/机械泵+扩散泵机组
/Q气氛系统:浮子流量计/进口质量流量计/国产质量流量计
备注

以上设备系统具备冷态极限真空6.67x10-2Pa接口条件;
其他特殊工艺要求请在订货时说明。


>搜索关键词

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日新高温CVD系列 真空气氛管式炉

CVD系列

合肥日新高温技术有限公司

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