粉体行业在线展览
CVD系列
面议
日新高温
CVD系列
4584
采用高纯石英管或刚玉管作为内炉膛,可拆卸式的三面密封方式,具有良好的洁净度和真空度;耐火、保温材料全部采用先进的轻质纤维制品,整机质量轻、能耗低;加热元件采用U型硅钼(碳棒或原装进口电阻丝;温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,温度控制具有良好的稳定性、重复性。
>应用领域
CVD系列真空气氛管式炉广泛适用于高、中、低温CVD工艺,例如:碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长、科研实验用石墨烯的生长等等;也可适用于金属材料的扩散焊接以及真空或保护气氛下热处理。
>主要特点
采用高纯石英管或刚玉管作为内炉膛,可拆卸式的三面密封方式,具有良好的洁净度和真空度;耐火、保温材料全部采用先进的轻质纤维制品,整机质量轻、能耗低;加热元件采用U型硅钼(碳棒或原装进口电阻丝;温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,温度控制具有良好的稳定性、重复性。
>技术指标
| 设备型号 | CVD(D)-06/60/3 | CVD(Z)-06/30/1 | CVD(G)-07/50/2 | CVD(G)-09/50/1 |
| 上限温度 | 1050°C | 1350°C | 1650°C/1000°C | 1650C |
| 使用温度 | RT-1000°C | 850-1300°C | 1000-1600°C | 1000-1600°C |
| 控制精度 | +1.5°C | +1.5°C | +1.5°C | +1.5°C |
| 温区个数 | 3个 | 1个 | 2个 | 1个 |
| 加热区长度 | 600mm | 300mm | 500mm(300mm/200mm) | 500mm |
| 炉管尺寸 | Φ60(外径)×1400mm | Φ60(外径)×1000mm | Φ70(外径)×1450mm | Φ90(外径)×1450mm |
| 炉管材料 | 石英管 | 刚玉管 | 刚玉管 | 刚玉管 |
| 发热元件 | 进口电阻丝 | 电阻丝/硅碳棒 | 电阻丝/硅碳棒 | 硅钼棒 |
| 装机功率 | 4.5kW | 3kW/8kW | 8kW | 10kW |
| 可选部件 | /V | 真空系统:单级机械泵/机械泵+扩散泵机组 | ||
| /Q | 气氛系统:浮子流量计/进口质量流量计/国产质量流量计 | |||
| 备注 | 以上设备系统具备冷态极限真空6.67x10-2Pa接口条件; | |||
>搜索关键词
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RLY 系列
HTRH,HTRV
管式炉
驰顺TF-1200型旋转管式炉
RTO蓄热式焚烧炉
连续式石墨化炉
OTL1200、KTL1400、KTL1600、KTL1700
OTF-1200X-25-60
略
ZHK-B02123K-200
TCGKD203-11/TCGKD204-11/TCGKD415-12TCGKD412-12/TCGKD410-12/T
YCVD-1706