一、设备组成

这是一款组合管式CVD设备。该设备主要由多路供气系统、三温区加热炉、低真空系统、以及智能控压组件组成。

1、开启式加热炉：

三温区加热炉使用轻质氧化铝纤维材质，K型热电偶测温搭配优质电阻丝为加热原件，内部温场均匀。

2、多路供气系统

质量流量计可按照程序设定，对多路气体进行单独或者混合。操作方便，控制精确。

3、智能控压组件

通过真空计实时监测管内压力，PLC根据设定压力大小调节阀开启大小，以控制管内压力稳定。

4、低真空系统

配备进口机械泵，进口真空计，质量可靠。

二、技术参数