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自动回转进料PECVD设备
面议
康帕因
自动回转进料PECVD设备
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产品特点:
1.该设备炉管可360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结更均匀;
2.可左右大角度倾斜,方便出放料,倾斜角度在0~35°之间。
3、广泛应用于电池正负极材料,无强酸碱性粉体材料,颗粒状物料。
型号 | LFT 1200C440D60R-CVD |
**温度 | 1200℃ |
工作温度 | 1100℃ |
升温速率 | 30℃/min |
加热区长度 | 440mm |
控温精度 | ±1℃ |
加热元件 | 电阻丝 |
热电偶 | K型 |
控温方式 | 模糊PID控制和自整定调节,人工智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能。 |
炉管尺寸 | Φ60*420*2+Φ100*360mm |
炉管转速 | 3~13r/min |
倾斜角度 | 0~35° |
密封方式 | 两端法兰+磁流体密封 |
加热功率 | 3KW |
供电电源 | 220V 50Hz |
设备净重 | 约200KG |
供气系统 | 100sccm、200sccm、200sccm(量程、流量计数量可选) |
真空系统 | 低真空机组,真空度可达1*10-1 |
(可选配高真空机组) |
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