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Advance Riko RTP-快速退火炉

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凯戈纳斯仪器商贸(上海)有限公司

产品规格型号
参考报价:

面议

关注度:

5315

范围(量程或细度):

--

产品介绍

退火温度均匀性:

 ±2.0℃

退火温度准确性:

 ±2.0℃

降温速率:

 30℃/s

**升温速率:

 50℃/s

温度范围:

 室温~1200℃

样品尺寸:

 2英寸

产地类别:

 进口

仪器种类:

 高真空快速退火炉

价格区间:

 10万-30万



快速热处理(RTP)已经成为半导体、铁电体以及镀膜行业的重要退火技术。但是目前,只有大型的、昂贵的生产设备才能完成快速热处理,这大大降低了研发工作的效率(尤其是小的样品)。为了满足市场的需求,ADVANCE RIKO研发出MILA-5000系列的小型快速退火炉。此系列的设备包含红外金面反射炉和高精度的温度控制器。根据需求选配相应的泵和气体接口,MILA能提供与大型RTP设备相同的热处理性能。

特点:

快速加热及冷却能力;

可在任意气氛中使用;

实时观测试样;

精确的温度控制;

 

型号

MILA-5000Series

温度范围:

室温~1200℃

加热功率:

50℃/s(50~1200℃)真空

45℃/s(50~1200℃)氮气氛围

温度均匀性:

±2.0℃(ΔT=4℃)1200℃真空

±4.5℃(ΔT=9℃)1200℃氮气氛围

加热气氛:

大气、真空、惰性气氛环境下

试样尺寸:

MAX:50 square or φ 50 x T5 (mm)

程序模组:

温度VS时间设定、Step数256、Program数32(Max);

PID+Fuzzy控制、自动微调、USB通讯、自动/手动切换;

 


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Advance Riko RTP-快速退火炉

凯戈纳斯仪器商贸(上海)有限公司

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