氮化硅陶瓷烧结装备的主要配置如下：

炉门：侧开门，台车装出料

炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢

炉胆：石墨保温或金属保温

加热器：石墨或钼加热体

工艺气路系统：体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进口/国产

真空泵和真空计：进口/国产

人机界面：模拟屏/触摸屏/工控机

PLC：霍尼韦尔DCS控制器、西门子PLC、欧姆龙PLC

控温：霍尼韦尔DCS控制器、日本导电仪表、霍尼韦尔仪表、欧陆仪表

热电偶：WRW-2300或红外

电器元件：天正/正泰/施耐德/西门子

氮化硅陶瓷烧结装备的规格：