仪器简介：

概要CS-131是半导体制造中清洗工艺的SC-1溶液用于高精度药液浓度的监测仪，实现了过去所没有的高速响应性和小巧化。可以常时间的监测微粒以及有机物的清除作业中所使用的SC-1溶液(NH3/H2O2/H2O)各成分浓度。通过使用监测输出的回收控制，可以确保SC-1溶液的浓度在允许范围内，同时，还可以避免不必要的更换药液工作。并且，冷却器一体型也进入了产品阵容内，可适用较大范围的样品温度。

技术参数：

特点

监测周期大约为2秒，支持300mm工艺的浓度管理

实现了以大约2秒为监测周期(※)的高速响应。支持向批次式和单槽式清洗装置定时反馈浓度信息。(※不包含药液的置换时间、冷却时间)

小巧化设计有利于节省清洗装置的空间

由于底面面积只有原来的2/3(※)左右，这种小巧化设计有利于清洗装置节省空间。可以很容易地组装到清洗装置中。

(※和本公司产品CS-220系列进行比较)

通过减少清洗工艺中的批次不良，提高产量

通过浓度计的信号输出，进行SC-1溶液的补给控制，从而实现高再现性的清洗。减少清洗工艺中的批次不良，从而推进产量的全面提高。

全自动监测与简易控制

用户只需引入SC-1溶液即可。监测是全自动方式，因此开始监测后不需要进行任何控制。另外，由于参照光谱测量时使用的是空气，所以不需要用水。

通过采取全面的气泡对策，可监测高温样品

在脱泡槽中分离气泡，在监测过程中进一步利用电磁阀把气泡混入监测单元内的发生次数抑制在*低限度。并且，如果是冷却器一体型产品，则可以直接倒入高温度样品至浓度计。温度补偿将自动进行。

采用DC24V，实现高安全性

电源采用DC24V低压电，提高了安全性以避免触电事故的发生。并且，由于内置漏水传感器，在发生漏水时可以切断SC-1溶液的供应等，采取紧急措施。

SC-1浓度计

CS-131

技术规格

型号和规格

CS-131：无冷却器

CS-131C：冷却器一体型

监测对象

SC-1(氨/过氧化氢水溶液)

测量原理

吸收光谱测定法

浓度计算的原理

温度补偿型多变量解析法

监测范围

氨：0.00〜1.00% / 0.00〜3.00% / 0.00〜5.00%

过氧化氢：0.00〜5.00% / 0.00〜7.00% / 0.00〜10.00%

水：94.0〜 100% / 90.0〜 100% / 85.0〜100%

再现性

氨： ±0.15% / ±0.2% / ±0.25%

过氧化氢： ±0.3% / ±0.3% / ±0.3%

水　　　　： ±1.5% / ±1.5% / ±1.5%

药液条件 温度

CS-131：20〜30℃

CS-131C：20〜80℃

药液条件 流量

CS-131：20〜60mL/min

CS-131C：20〜40mL/min

药液条件 压力

0.10〜0.20MPa

监测周期

*小约2秒(不包含药液的置换时间・冷却时间)

设置温度

20〜25℃

操作面板

1)温度检测值的显示：氨、过氧化氢、水

2)报警信号的显示(氨、过氧化氢)：浓度下下限、浓度下 限、浓度上限、浓度上上限

3)报警信号值的设定(氨、过氧化氢)：浓度下下限、浓度下限，浓度上限、浓度上上限

串行输入

RS-232C

1)浓度数据：氨、过氧化氢、水

2)报警信号值的设定(氨、过氧化氢)：浓度下下限、浓度下限、浓度上限、浓度上上限

并行输入

DC12〜30V(光电耦合器绝缘)

并行温度报警(有效/无效)

并行输出

开路集电极输出为ON 时的**电流：5mA、为OFF时的**电压：30V

1)报警信号输出(氨、过氧化氢)：浓度下下限、浓度下限、浓度上限、浓度上上限

2)装置异常

3)漏液

模拟输出

4〜20mA(2输出：NH3浓度、H2O2浓度的2输出)

＊与量程规格技术规格无关，可以使4〜20mA输出对应于0〜10%浓度。(请在订货时指定)

电源

DC24V±10%， 2A

外形尺寸

CS-131：205(W)×329(D)×269(H)mm

CS-131C：291(W)×329(D)×269(H)mm

质量

CS-131：约11kg

CS-131C：约12kg

连接配管尺寸

导入用、排出用外径均为3mm(内径均为2mm)

配管接头

Nippon Pillar Super型

主要特点：

特点

监测周期大约为2秒，支持300mm工艺的浓度管理

实现了以大约2秒为监测周期(※)的高速响应。支持向批次式和单槽式清洗装置定时反馈浓度信息。(※不包含药液的置换时间、冷却时间)

小巧化设计有利于节省清洗装置的空间

由于底面面积只有原来的2/3(※)左右，这种小巧化设计有利于清洗装置节省空间。可以很容易地组装到清洗装置中。

(※和本公司产品CS-220系列进行比较)

通过减少清洗工艺中的批次不良，提高产量

通过浓度计的信号输出，进行SC-1溶液的补给控制，从而实现高再现性的清洗。减少清洗工艺中的批次不良，从而推进产量的全面提高。

全自动监测与简易控制

用户只需引入SC-1溶液即可。监测是全自动方式，因此开始监测后不需要进行任何控制。另外，由于参照光谱测量时使用的是空气，所以不需要用水。

通过采取全面的气泡对策，可监测高温样品

在脱泡槽中分离气泡，在监测过程中进一步利用电磁阀把气泡混入监测单元内的发生次数抑制在*低限度。并且，如果是冷却器一体型产品，则可以直接倒入高温度样品至浓度计。温度补偿将自动进行。

采用DC24V，实现高安全性

电源采用DC24V低压电，提高了安全性以避免触电事故的发生。并且，由于内置漏水传感器，在发生漏水时可以切断SC-1溶液的供应等，采取紧急措施。

SC-1浓度计

CS-131

技术规格

型号和规格

CS-131：无冷却器

CS-131C：冷却器一体型

监测对象

SC-1(氨/过氧化氢水溶液)

测量原理

吸收光谱测定法

浓度计算的原理

温度补偿型多变量解析法

监测范围

氨：0.00〜1.00% / 0.00〜3.00% / 0.00〜5.00%

过氧化氢：0.00〜5.00% / 0.00〜7.00% / 0.00〜10.00%

水：94.0〜 100% / 90.0〜 100% / 85.0〜100%

再现性

氨： ±0.15% / ±0.2% / ±0.25%

过氧化氢： ±0.3% / ±0.3% / ±0.3%

水　　　　： ±1.5% / ±1.5% / ±1.5%

药液条件 温度

CS-131：20〜30℃

CS-131C：20〜80℃

药液条件 流量

CS-131：20〜60mL/min

CS-131C：20〜40mL/min

药液条件 压力

0.10〜0.20MPa

监测周期

*小约2秒(不包含药液的置换时间・冷却时间)

设置温度

20〜25℃

操作面板

1)温度检测值的显示：氨、过氧化氢、水

2)报警信号的显示(氨、过氧化氢)：浓度下下限、浓度下 限、浓度上限、浓度上上限

3)报警信号值的设定(氨、过氧化氢)：浓度下下限、浓度下限，浓度上限、浓度上上限

串行输入

RS-232C

1)浓度数据：氨、过氧化氢、水

2)报警信号值的设定(氨、过氧化氢)：浓度下下限、浓度下限、浓度上限、浓度上上限

并行输入

DC12〜30V(光电耦合器绝缘)

并行温度报警(有效/无效)

并行输出

开路集电极输出为ON 时的**电流：5mA、为OFF时的**电压：30V

1)报警信号输出(氨、过氧化氢)：浓度下下限、浓度下限、浓度上限、浓度上上限

2)装置异常

3)漏液

模拟输出

4〜20mA(2输出：NH3浓度、H2O2浓度的2输出)

＊与量程规格技术规格无关，可以使4〜20mA输出对应于0〜10%浓度。(请在订货时指定)

电源

DC24V±10%， 2A

外形尺寸

CS-131：205(W)×329(D)×269(H)mm

CS-131C：291(W)×329(D)×269(H)mm

质量

CS-131：约11kg

CS-131C：约12kg

连接配管尺寸

导入用、排出用外径均为3mm(内径均为2mm)

配管接头

Nippon Pillar Super型