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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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URE-2000系列紫外单面光刻机

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产品介绍

URE-2000 系列紫外单面光刻机
此系列包含六种型号：URE-2000A，URE-2000B，URE-2000/35，URE-2000/35A，URE-2000/25，URE-2000/17
URE-2000/600 紫外光刻机
1、设备主要技术指标：
(1)光束口径： 650mm×650mm
(2)有效曝光面积：600mm×600mm
(3)分辨力：≤3μm
(4)对准精度：±1.5μm
(5)对准显微镜中心距：75mm-600mm 可调
(6)掩模尺寸：650mm×650mm
(7)样片尺寸：可适应Ф300mm、Ф450mm、Ф600mm 300mm×300mm；450mm×450mm；600mm
×600mm，厚度为 0.2mm～20mm 的多种规格样片；
(8)光源不均匀性：≥ 95%（Ф600mm）
(9)掩模相对于样片运动行程：X: ±15mm; Y: ±15mm; Z：15mm Φ: ±10o
(10)曝光面光强：>15mW/cm2（i、g、h 线）
(11)汞灯功率：2500W（直流）
(12)曝光量设定方式：定时（倒计时方式 0.1s-9999.9s，设定精度 0.1s）
2．技术主要组成部分
大面积精细胶模图形结构成型机组成主要由：高均匀照明曝光系统、对准工件台系
统、CCD 对准系统、计算机控制系统、气动控制系统及辅助设备构成。各系统构成与配置如下:
（1）高均匀照明系统包括：
。冷光椭球镜；
。2500W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
。 XYZ 汞灯调节台；
。光学系统：椭球反射镜、光栏、快门、平面冷光反射镜 1、平面冷光反射镜 ，2、蝇眼透
镜组、抛物面冷光反射镜；
。冷却风扇；
。循环水冷系统。
（2）对准工件台系统包括：
? 掩模样片相对运动台；
? 转动台；
? 样片调平机构，自动完成；
? 样片调焦机构，自动调整；
? 承片台 10 个：Ф300mm、Ф450mm、Ф600mm 及 300mm×300mm；450mm×450mm；600mm
×600mm；
? 掩模夹 1 个：650mm×650mm；
? 抽拉式上下片机构。
（3）CCD 对准系统包括：
? 光源、电源；
? 显微镜工作台；
? 成像光学系统（两套）；
? 数据采集卡；
? CCD 图像处理部件（两套）。
（4）电控系统包括：
? 大功率汞灯触发电源；
? 单片机控制系统；
? 薄膜开关面板；
? 控制柜桌；
（5）气动系统包括：
? 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等；
? 电磁阀驱动部件；
? 气动显示仪表。
（6）其他配套附件
? 真空泵一台（无油泵、SK-65C 型）；
? 空压机一台（静音型、YB-W30 型）；
? 水冷机一台（H35W 型）；
? 配套接口管道
二、URE-2000/A12 紫外光刻机
1、设备主要技术指标：
(1) 曝光面积： 300mm×300mm；
（2）分辨力： ±2μm；
（3）对准精度：±2μm；
（4）掩模尺寸： 7 英寸、9 英寸、13 英寸；
（5）样片尺寸： 6 英寸、8 英寸、12 英寸；
（6）wafer chuck 表面：防止光反射涂层；
（7）掩模样片整体运动范围：X：10mm;Y:10mm；
（8）掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф : ±6°；
（9）汞灯功率：1000W（直流）；
（10）曝光能量密度：≥ 10mW/cm 2 ；
（11）曝光峰值波长:365nm；
（12）光源平行度：＜2°；
（13）曝光方式：定时（倒计时方式 0.1s—9999.9s）；
（14）光刻版夹具兼容性
2．技术主要组成部分
（1）曝光头系统包括:
? 冷光椭球镜；
? 德国 OSRAM1000W 直流高压汞灯；
? XYZ 汞灯调节台；
? 光学系统（冷光紫外平面反射镜、快门、蝇眼透镜组、冷光紫外抛物面反射镜）；
? 冷却风扇。
（2）对准工件台系统包括:
? 掩模样片相对运动台；
?（XY），转动台；
? 样片调平机构；
? 样片调焦机构；
? 承片台 3 个： 6 英寸、8 英寸、12 英寸；
? 掩模夹 3 个： 7 英寸、9 英寸、13 英寸。
（3）CCD 对准显微镜系统包括:
?4 倍显微镜 2 只；
?照明光源 2 套；
? CCD 相机 2 只；
?22 英寸液晶显示器。
（5）电控系统：
? 汞灯触发电源(1000W)；
? 单片机控制系统；
? 控制柜桌。
（6）气动系统系统包括:
? 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关，电磁阀驱动，气动仪表等
（7）其他配置与附件
?真空泵一台；
?空压机一台；
? 配套气管 10m；
三、URE-2000/A8 紫外光刻机
1、设备主要技术指标：
(1) 曝光面积： 200mm×200mm；
（2）分辨力：±2 μm；
（3）对准精度：±2 μm；
（4）掩模尺寸：5 英寸、7 英寸、9 英寸；
（5）样片尺寸：4 英寸、6 英寸、8 英寸；
（6）wafer chuck 表面：防止光反射涂层；
（7）掩模样片整体运动范围：X：10mm;Y:10mm；
（8）掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; Φ: ±6°；
（9）汞灯功率：1000W（直流）；
（10）曝光能量密度：≥ 15mW/cm 2 ；
（11）曝光峰值波长:365nm；
（12）曝光方式：定时（倒计时方式 0.1s—999.9s）；
（13）调平接触压力通过传感器保证重复
（14）数字设定对准间隙和曝光间隙
（15）具备压印模块接口，也具备接近模块接口
2．技术主要组成部分
（1）曝光头系统包括:
? 冷光椭球镜；
? 德国 OSRAM1000W 直流高压汞灯；
? XYZ 汞灯调节台；
? 光学系统（冷光紫外平面反射镜、快门、蝇眼透镜组、冷光紫外抛物面反射镜）；
? 冷却风扇。
（2）对准工件台系统包括:
? 掩模样片相对运动台；
?（XY），转动台；
? 样片调平机构；
? 样片调焦机构；
? 承片台 3 个： 4 英寸、6 英寸、8 英寸；
? 掩模夹 3 个：5 英寸、7 英寸、9 英寸。
（3）CCD 对准显微镜系统包括:
?4 倍显微镜 2 只；
?照明光源 2 套；
? CCD 相机 2 只；
?22 英寸液晶显示器。
（5）电控系统：
? 汞灯触发电源(1000W)；
? 单片机控制系统；
? 控制柜桌。
（6）气动系统系统包括:
? 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关，电磁阀驱动，气动仪表等
（7）其他配置与附件
?真空泵一台；
?空压机一台；
? 配套气管 10m；
四、URE-2000A 型光刻机
1．技术参数
?曝光面积：150mmX150mm
?曝光波长：365nm
?分辨力：0.8-1μm（胶厚 2 μm 的正胶）
?对准精度：±0. 6μm
?掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm
?掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸
?样片尺寸：直径 ±15mm-- ±150mm（各种不规则片）
厚度 0.1mm--5mm(可拓展至 15mm)
?曝光方式：定时（倒计时方式），0.1s-9999s
?具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能
?照明不均匀性： 2.5%（ ±100mm 范围），5%（±150mm 范围）
?双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学**倍数 400 倍，
光学+电子放大 800 倍
物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对：10 倍、16 倍、20 倍
?调平接触压力通过传感器保证重复
?数字设定对准间隙和曝光间隙
?具备压印模块接口，也具备接近模块接口
?掩模相对于样片运动行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; Φ: ±6 度
?**胶厚：500 μm(SU8 胶)
?光源平行性：1.2°
?曝光能量密度：>18mW/cm2
?冷却方式：循环水+风冷
?曝光面温度：<30°C
?汞灯功率：1000W（直流，进口
2．外形尺寸：1400mm（长）?1200mm(宽) ?1950mm（高）
3．配置
（1）曝光头
?冷光椭球镜
?1000W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗，长寿命型)
?XYZ 汞灯调节台
?冷却风扇
?光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（109 个透镜）、i 线滤光片、场镜
1、场镜 2、冷光反射镜 1、反射镜 2
?循环水冷系统
（2）对准工件台
?掩模样片整体运动台
?掩模样片相对运动台
?转动台
?样片调平机构，自动完成
?样片调焦机构，自动调
?承片台 4 个（2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸）
?掩模夹 4 个（3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸）
?基片抽拉式上下片机构
（3）对准显微镜
?光源（配备品 2 只）、电源
?双目双视场对准显微镜主体
?目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）
?物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）
（4）CCD 对准系统(选配)
?光源（配备品 3 只）、电源
?成像光学系统（两套）
?数据采集卡
?三维工件台（两套）
?CCD（2 只）
（5）电控系统
?汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)
?单片机控制系统
?控制柜桌
?计算机系统及液晶显示器
（6）气动系统
?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
?电磁阀驱动
?气动仪表
（7）其他附件
?真空泵一台（无油泵）
?空压机一台（静音泵）
五、URE-2000B 型光刻机
1．技术参数
?曝光面积：100mmX100mm
?曝光波长：365nm
?分辨力：0.8μm（胶厚 2μm 的正胶）
?对准精度：±0.6μm
?掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm
?掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
?样片尺寸：直径 ±15mm-- ±100mm（各种不规则片）
厚度 0.1mm--6mm(可扩展为 15mm)
?曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
?具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能
?照明不均匀性： 2.5%（±100mm 范围）
?双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学**倍数 400 倍，
光学+电子放大 800 倍
物镜 3 对：4 倍、10 倍、20 倍； 目镜 3 对：10 倍、16 倍、20 倍
?调平接触压力通过传感器保证重复
?数字设定对准间隙和曝光间隙
?具备压印模块接口，也具备接近模块接口
?掩模相对于样片运动行程： X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф: ±6 度
?**焦厚：600 μm（SU8 胶，用户提供检测条件）
?光源平行度：1.2o
?曝光能量密度：>20mW/cm
?汞灯功率：1000W（直流，进口）
2．外形尺寸：1400mm（长）?1200mm(宽) ?1950mm（高）
3．配置
（1）曝光头
?冷光椭球镜
?XYZ 汞灯调节台
?冷却风扇
?1000W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
?光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（109 个透镜）、i 线滤光片、场
镜、冷光反射镜 1、反射镜 2
（2）对准工件台
?掩模样片整体运动台
?掩模样片相对运动台
?转动台
?样片调平机构，自动完成
?样片自动调焦机构
?承片台 4 个（?15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸）
?掩模夹 4 个（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）
?基片抽拉式上下机构
（3）对准显微镜及 CCD 对准系统
?光源、电源
?双目双视场对准显微镜主体
?目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）
?物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）
?CCD
?21 英寸液晶显示器
（4）电控系统
?汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)
?单片机控制系统
?控制柜桌
（5）气动系统
?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
?电磁阀驱动
?气动仪
（6）其他附件
?真空泵一台（无油泵）
?空压机一台（静音泵）
?管道
（7）技术资料
?使用维修说明书。
? 显微镜使用说明书
六、URE-2000/35 型光刻机
1．技术特征——非常适合工厂（效率高，操作傻瓜型，自动化程度高）和高校教学科研（可靠性好，演示方便）
采用自动找平，具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能，自动分离对准间隙和消除
曝光间隙，采用 350W 进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度。设备外形美观精制，性能非常可靠，自动化程
度很高，操作十分方便。
2．技术参数
?曝光面积：4 英寸
?曝光波长：365nm
?分辨力：0.8?m
?对准精度：?0. 8?m
?掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm
?掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
?样片尺寸：直径 ?10mm-- ?100mm(各种不规则片)，厚度 0.1mm--5mm(可扩展为 15mm)
?曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
?具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能
?照明不均匀性： 3%（?100mm 范围）
?双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学**倍数 400 倍，
光学+电子放大 800 倍
物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对：10 倍、16 倍、20 倍
?调平接触压力通过传感器保证重复
?数字设定对准间隙和曝光间隙
?具备压印模块接口，也具备接近模块接口
?掩模相对于样片运动行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф : ±6o
?**焦厚：400 μm（SU8 胶，用户提供检测条件）
?光源平行性：3.5 o
?曝光能量密度：>20mW/cm2，照明面温度<35 o
?单层曝光一键完成
?采用球气浮自动找平
?汞灯功率：350W（直流，进口汞灯）
3．外形尺寸：1200mm（长）±900mm(宽) ±1750mm（高）
4．配置
（1）曝光头
?冷光椭球镜
?350W 进口直流高压汞灯(进口)
?XYZ 汞灯调节台
?冷却风扇
?光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镜
1、冷光反射镜 1、反射镜 2
（2）对准工件台
?掩模样片整体运动台
?掩模样片相对运动台
?转动台
?样片调平机构，自动完成
?基片抽拉式上下机构
?样片调焦机构，电机自动调
?承片台 4 个：±15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸（可按用户要求增减）
?掩模夹 4 个：3 英寸、4 英寸、5 英寸（可按用户要求增减）
（3）对准显微镜
?光源（配备品 2 只）、 电源
?双目双视场对准显微镜主体
?目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）
?物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）
?CCD 对准系统，21 寸液晶显示器
（4）电控系统
?汞灯触发电源(350W 直流汞灯)
?单片机控制系统
?控制柜桌
（5）气动系统
?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
?电磁阀驱动
?气动仪表
（6）其他附件
?真空泵一台
?空压机一台
?管道
七、URE-2000/35A 型光刻机
1．技术特征——非常适合工厂（效率高，操作傻瓜型，全自动）和高校教学科研（可靠性好，演示方便）
采用自动找平，具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能，自动分离对准间隙和消除
曝光间隙，采用 350W 进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度。设备外形美观精制，性能非常可靠，自动化程
度很高，操作十分方便。
2．技术参数
?曝光面积：6 英寸
?曝光波长：365nm
?分辨力：1-1.2μm（胶厚 2 μm的正胶）
?对准精度：±0.8μm
?掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm
?掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸
?样片尺寸：直径 ±15mm-- ±150mm（各种不规则片），厚度 0.1mm--6mm
?曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
?具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能
?照明不均匀性： 6%（±150mm 范围）
?双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学**倍数 400 倍，
光学+电子放大 800 倍
物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对：10 倍、16 倍、20 倍
?调平接触压力通过传感器保证重复
?数字设定对准间隙和曝光间隙
?具备压印模块接口，也具备接近模块接口
?掩模相对于样片运动行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф : ±6o
?**焦厚：350μm（SU8 胶，用户提供检测条件）
?光源平行性：3.5 o
?曝光能量密度：>15mW/cm2，照明面温度<35 o
?单层曝光一键完成
?采用球气浮自动找平
?汞灯功率：350W（直流，进口）
3．外形尺寸：1200mm（长）?900mm(宽) ?1750mm（高）
4．配置
（1）曝光头
?冷光椭球镜
?350W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
?XYZ 汞灯调节台
?冷却风扇
?光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镜、
冷光反射镜 1、反射镜 2
（2）对准工件台
?掩模样片整体运动台
?掩模样片相对运动台
?转动台
?样片调平机构，三点自动完成
?样片调焦机构，电机自动调
?基片抽拉式上下机构
?承片台 4 个：?15mm 、3 英寸、4 英寸、6 英寸（可按用户要求增减）
?掩模夹 4 个：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸（可按用户要求增减）
（3）对准显微镜
?光源（配备品 2 只）、 电源
?双目双视场对准显微镜主体
?目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）
?物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）
?CCD 对准系统，21 寸液晶显示器
（4）电控系统
?汞灯触发电源(350W 直流汞灯)
?单片机控制系统
?控制柜桌
（5）气动系统
?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
?电磁阀驱动
?气动仪表
（6）其他附件
?真空泵一台
?空压机一台
?管道
八、URE-2000/35L 型光刻机
一、 主要技术参数：
（1）曝光面积：100mm×100mm；
（2）照明不均匀性： ±3%（ ±100mm 范围）；
（3）分辨力：1.0μm（胶厚 2.0 μm 的正胶，365nm 波长）
（4）对准精度：≤±0.8μm；
（5）掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸；
（6）样片尺寸：直径 ±15mm-- ±100mm、厚度 0.1mm--6mm；
（7）掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф:±6°；
（8）掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm
（9）曝光光源：紫外 LED（进口）；
（10）曝光波长：365nm；
（11）曝光强度：≥20mW/cm2；
（12）曝光定时：倒计时方式(0.1s—9999.9s 任意设定).
（13）调平接触压力通过传感器保证重复
（14）数字设定对准间隙和曝光间隙
（15）具备压印模块接口，也具备接近模块接口
二、技术构成与配置
设备由曝光头系统、对准工件台系统、CCD 对准显微镜系统、电控系统、
气动系统等部分构成。
（1）曝光头系统包括:
◆ 进口紫外 LED 光源模块；
◆ LED 光源整形模块；
◆ XYZ 光源位置调节台；
◆ 光学系统（含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组（79 个
透镜）、场镜组、反射镜组）；
◆ 冷却风扇。
（2）对准工件台系统包括：
◆ 掩模样片相对运动台（XY）；
◆ 转动台；
◆ 样片调平机构，采用三爪加球气浮自动调平方式；
◆ 样片调焦机构，采用电机加传感器方式，可数字分离曝光间隙；
◆ 承片台 4 个（?15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸各 1 个）；
◆ 掩模夹 4 个（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸各 1 个）。
（3）CCD 对准显微镜系统包括：
◆ 对准光源 LED 灯；
◆ 双目双视场对准显微镜主体；
◆ 目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）；
◆ 物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）；
◆ CCD 部件；
◆ 22 英寸宽屏液晶显示器。
（4）电控系统包括：
◆ 单片机控制系统；
◆ 紫外 LED 电源模块；
◆ 控制柜桌。
（5）气动系统包括：
◆ 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关、电磁阀驱动、气动仪表等 。
(6)．辅助设备配置:
◆ 真空泵 1 台（干泵）；
◆ 静音空气压缩机 1 台；
◆ 配套接管 10m；
(7)．备品备件
◆ 对准光源灯 4 只（LED-1W，不包括机器自带的两只）；
九、URE-2000/35AL 型光刻机
一、 主要技术参数：
（1）曝光面积：150mm×150mm；
（2）照明不均匀性： ±4%（ ±150mm 范围）；
（3）分辨力：1.0μm（365nm 波长）
（4）对准精度：≤±0.8μm；
（5）掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸；
（6）样片尺寸：直径 ±15mm-- ±150mm、厚度 0.1mm--6mm；
（7）掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф:±6°；
（8）掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm
（9）曝光光源：紫外 LED（进口）；
（10）曝光波长：365nm；
（11）曝光强度：≥15mW/cm2 ；
（12）曝光定时：倒计时方式(0.1s—9999.9s 任意设定).
（13）调平接触压力通过传感器保证重复
（14）数字设定对准间隙和曝光间隙
（15）具备压印模块接口，也具备接近模块接口
二、技术构成与配置
设备由曝光头系统、对准工件台系统、CCD 对准显微镜系统、电控系统、
气动系统等部分构成。
（1）曝光头系统包括:
◆ 进口紫外 LED 光源模块；
◆ LED 光源整形模块；
◆ XYZ 光源位置调节台；
◆ 光学系统（含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组（79 个透镜）、场镜组、反射镜组）；
◆ 冷却风扇。
（2）对准工件台系统包括：
◆ 掩模样片相对运动台（XY）；
◆ 转动台；
◆ 样片调平机构，采用三爪加球气浮自动调平方式；
◆ 样片调焦机构，采用电机加传感器方式，可数字分离曝光间隙；
◆ 承片台 4 个（2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸各 1 个）；
◆ 掩模夹 4 个（3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸各 1 个）。
（3）CCD 对准显微镜系统包括：
◆ 对准光源 LED 灯；
◆ 双目双视场对准显微镜主体；
◆ 目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）；
◆ 物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）；
◆ CCD 部件；
◆ 22 英寸宽屏液晶显示器。
（4）电控系统包括：
◆ 单片机控制系统；
◆ 紫外 LED 电源模块；
◆ 控制柜桌。
（5）气动系统包括：
◆ 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关、电磁阀驱动、气动仪表等 。
(6)．辅助设备配置:
◆ 真空泵 1 台（干泵）；
◆ 静音空气压缩机 1 台；
◆ 配套接管 10m；
(7)．备品备件
◆ 对准光源灯 4 只（LED-1W，不包括机器自带的两只）；
十、URE-2000/30 型光刻机
1．技术特征
?高倍率双目双视场显微镜和 22 英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程，并提供 USB 输出；既满足高精度对准，又
可用于检测曝光结果，且曝光结果和方便存储
?采用倒置式照明，更换汞灯更方便，散热和防漏光效果更好
?对准位和曝光位双工位工作，双工位自动切换
?采用嵌入式计算机+触摸屏操作，操作更方便，更时尚
?上下片、版十分方便，自动化程度高，操作简便。对高校教学科研（可靠性好，演示方便）及工厂(效率高)尤为适宜
2．技术参数
?曝光面积：100mm×100mm（可升级为 6 英寸）
?曝光波长：365nm
?分辨力：≤1 μm（胶厚 1.5 μm 的正胶）
?对准精度：±0.6 μm
?显微镜扫描台运动范围：X：10mm;Y:10mm
?掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
?样片尺寸：直径 ±15mm-- ±100mm（各种不规则片），厚度 0.1mm--6mm
?曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
?具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能30
?照明不均匀性： 3%（±100mm 范围）
?双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学**倍数 400 倍，
光学+电子放大 800 倍
物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对：10 倍、16 倍、20 倍
?曝光对准双工位自动切换
?调平接触压力通过传感器保证重复
?数字设定对准间隙和间隙
?具备压印模块接口，也具备接近模块接口
?掩模相对于样片运动行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф: ±6o
?**焦厚：400 μm（SU8 胶，用户提供检测条件）
?光源平行性：3 o
?曝光能量密度：>25mW/cm2，照明面温度<35 oC
?单层曝光一键完成
?采用球气浮+三爪找平
?汞灯功率：350W（直流，进口）
3．外形尺寸：1400mm（长）±900mm(宽) ±1500mm（高）
4．配置
（1）曝光头
?冷光椭球镜
?350W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
?XYZ 汞灯调节台
?冷却风扇
?光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镜、
冷光反射镜 1、反射镜 2
（2）对准工件台
?光刻机底座
?工位切换台（气缸）
?掩模样片整体运动台
?掩模样片相对运动台
?转动台
?样片调平机构，三点自动完成
?样片调焦机构，电机自动调
?基片抽拉式上下机构
?承片台 4 个：?15mm 、?40mm、?60mm、?100mm（可按用户要求增减）
?掩模夹 4 个：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸（可按用户要求增减）
?样片抽拉式上下机构
（3）对准显微镜
?光源、 电源
?双目双视场对准显微镜主体
?目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）
?物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）
?CCD 对准系统，22 寸液晶显示器
（4）电控系统
?汞灯触发电源(350W 直流汞灯)
?单片机控制系统
?控制面板
?控制柜桌
（5）气动系统
?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
?电磁阀驱动
?气动仪表
（6）其他附件
?真空泵一台
?空压机一台
?配套接口管道
十一、URE-2000/25 型光刻机
1．技术参数
?曝光面积：4 英寸
?曝光波长：365nm
?分辨力：1 μm（胶厚 2 μm 的正胶）
?对准精度：±0.8μm
?掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm
?掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
?样片尺寸：直径 ±15mm-- ±100mm(各种不规则片)，厚度 0.1mm--6mm
?曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
?照明不均匀性： 3%（ ±100mm 范围）
?双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学**倍数 400 倍，
光学+电子放大 800 倍
物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对：4 倍、10 倍、20 倍
?掩模相对于样片运动行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm;Ф : ±6o
?**焦厚：350μm（SU8 胶，用户提供检测条件）
?光源平行性：3.5 o
?曝光能量密度：>20mW/cm2，照明面温度<35 o
?汞灯功率：350W（直流，进口）
2．外形尺寸：1200mm（长）?900mm(宽) ?1750mm（高）
3．配置
（1）曝光头
?冷光椭球镜
?350W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
?XYZ 汞灯调节台
?冷却风扇
?光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镜
1、场镜 2、冷光反射镜 1、反射镜 2
（2）对准工件台
?掩模样片整体运动台
?掩模样片相对运动台
?转动台
?样片调平机构， 手动
?样片调焦机构，手动
?承片台 3 个（?50mm 、?75mm 、 ?100mm）
?掩模夹 4 个（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）
?基片抽拉式上下机构
（3）对准显微镜
?光源（配备品 2 只）、 电源
?双目双视场对准显微镜主体
?目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）
?CCD 及 21 英寸液晶显示器
?物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）
（4）电控系统
?汞灯触发电源(350W 直流汞灯)
?单片机控制系统
?控制箱
（5）气动系统
?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
?电磁阀驱动
?气动仪表
（6）其他附件
?真空泵一台
?空压机一台
?管道
十二、URE-2000/17 型光刻机（台式）
1．技术参数
?曝光面积：4 英寸
?曝光波长：365nm
?分辨力：1.5μm（胶厚 2 μm 的正胶）
?对准精度：±1μm
?掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm
?掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
?样片尺寸：直径 ±15mm-- ±100mm，厚度 0.1mm--6mm(可扩展为 15mm)
?曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
?照明不均匀性： 5%（±100mm 范围）
?双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学**倍数 400 倍，
光学+电子放大 800 倍
物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对：10 倍、16 倍、20 倍
?掩模相对于样片运动行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф: ±6 度
?汞灯功率：200W（直流）
?曝光能量密度：6mW/cm
2．外形尺寸：650mm（长）±600mm(宽) ±900mm（高）36
3．配置
（1）曝光头
?200W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
?XYZ 汞灯调节台
?光学系统
?冷却风扇
（2）对准工件台
?掩模样片整体运动台
?掩模样片相对运动台
?转动台
?样片调平机构，手动
?样片调焦机构，手动
?承片台 3 个（?50mm 、?75mm 、 ?100mm ）
?掩模夹 4 个（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）
?掩模抽拉式上下机构
（3）对准显微镜
?光源（配备品 2 只）、电源
?双目双视场对准显微镜主体
?目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）
?物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）
?CCD（台湾）
?21 寸液晶显示器
（4）电控系统
?汞灯触发电源(200W 直流汞灯)
?单片机控制系统
?控制机箱
（5）气动系统
?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
?电磁阀驱动
?气动仪表
（6）其他附件
?真空泵一台
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