仪器简介：

应用：

◆ 薄膜厚度、n值及k值的测量，可应用于任何薄膜生长或者镀膜工艺的监控。

技术参数：

Sopra公司是世界上*知名的椭偏仪设备供应商，其高精度的椭偏仪在半导体、化合物半导体（GaAs/SiC）、LCD及MEMS领域有着非常广泛的应用。目前，全世界有超过500台的Sopra椭偏仪应用于各个行业。

主要特点：

◆ 高精度的薄膜测量（膜厚、n值、k值）；

◆ 全世界**家宽光谱椭偏仪技术的***；

◆ VLSI及其他的测试标准均由Sopra标第；

◆ 强扩展性：Fast UV VIS CCD 模式，高分辨率DUV-VIS模式及FTIR/4PP功能。