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SID4 UV-HR(紫外光)
基于相位的**技术, 在190纳米到400纳米波段,SID4 UV-HR波前分析仪(在紫外光谱范围内)具有超高的分辨率(250 x250)和极高的灵敏度(0.5 nm RMS)。因此SID4 UV-HR是完全适应光学组件描述(用于光刻、半导体)和表面检测(镜头,晶片……)
主要特点
.超高分辨率 250×250
.高灵敏度 0.5nm RMS
.大型分析孔 8.0×8.0mm
.可以直接对光学器件表面进行测量
推荐用途
.紫外激光器:光束的测量和校正
.光学:紫外线光学(半导体)测试和表面测量。
SID4 UV-HR的详细规格
SID4 UV-HR | 单位 | 数据 |
波长范围 | nm | 190-400 |
框口尺寸 | mm^2 | 8.0*8.0 |
空间解析度 | Um | 32 |
相位和强度抽样 | 250*250 | |
分辨率 | nmRMS | 0.5 |
精密度 | nmRMS | 10 |
采集率 | fps | >30 |
实时处理频率 | fps | 1 |
尺寸(w*h*l) | mm | 95*105*84 |
重量 | g | 900 |