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MEMS连续表面可变形反射镜

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产品介绍

MEMS连续表面可变形反射镜

Alpao变形镜是一款使用电磁驱动器的高速、高线性度和大波前调制量的连续反射面变形镜，小巧紧凑的结构设计配合Alpao优异的自适应系统控制算法，能够很好地满足快速、准确的波前校正需求。

MEMS连续表面可变形反射镜核心特点:

l 可修正低级次大相差

l 可修正高级次相差

l 高达80μm PtV大波前调制量（>120μm可选）

l 相邻驱动器调制量>5μm PtV

l 高分辨率波前畸变校正

l 500μs快速响应

l 优于97%的高线性度

l 优于±1%的高稳定性

l 高品质镀膜

l ±1V低电压驱动电路

l 平均功耗<10W

l 体积小巧，安装方便

MEMS连续表面可变形反射镜型号及参数：

Model	DM69	DM88	DM97-08	DM97-15	DM241	DM277	DM468	DM820
Number of actuators	69	88	97	97	241	277	468	820
Pupil diameter	10.5 mm	20.0 mm	7.2 mm	13.5 mm	37.5 mm	24.5 mm	33.0 mm	45.0 mm
Pitch	1.5 mm	2.5 mm	0.8 mm	1.5 mm	2.5 mm	1.5 mm
Maximum mirror best flat in close loop	7.0 nm RMS (no print through effects)
Minimum tip/tilt stroke (PV， wavefront)	60 μm	40 μm	80 μm	60 μm	40 μm	15 μm
Minimum focus/astig. stroke (PV， wavefront)	40 μm	30 μm	40 μm	40 μm	30 μm	10 μm
Minimum 3x3 stroke (PV， wavefront)	> 25 μm					> 10 μm
Maximum settling time (at +/-1 0%)	800 μs	1.6 ms		800 μs	1.6 ms	500 μs
Minimum bandwidth*	> 750 Hz	> 400 Hz		> 750 Hz	> 400 Hz	> 2 000 Hz
Minimum frequency at phase lag of 45°	> 500 Hz	> 300 Hz		> 500 Hz	> 300 Hz	> 1 500 Hz
Hysteresis error	<2%
Nonlinearity error	<3%
Coating*	银膜R>96.5%@0.5μm~2μm
Operating temperature	-10 to 35°C

备注*：带宽及反射膜均可根据客户实际需求定制。