IXRF成立于1993年，位于美国德克萨斯州，专注于精确地微区痕量元素分析产品，包括能谱仪（EDS）和X射线荧光（XRF）。

本产品是把高性能的微型X射线管（两种可选）安装在SEM上，利用能谱仪探测器来接受信号，从而将XRF整合进SEM+EDS系统中，结合了EDS和XRF两者的优势，使其在元素分析方面有自己的独特之处，XRF分析具有对样品无破坏、可直接分析不导电样品、灵敏度更高，能实现PPM量级分析等优点，这是其它能谱产品所不具有的。这种SEM+EDS+XRF的元素分析方案目前已经在美国得到广泛推广和应用。

★更高的峰背比，重叠峰少，灵敏度是EDS的10-1000倍，可以实现PPM级的痕量分析。

★两种型号的X射线管，很好的兼容性，可以与任意厂家的能谱探测器搭配。

两种X射线发生器参数：