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多功能平台聚焦扫描微区X射线光电子能谱仪

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滨州创元设备机械制造有限公司(现北京创元)

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产品介绍

仪器简介:

2006年12月一推出,立刻受到高校科研单位欢迎。

国内用户有 南京大学分析中心 上海师范大学 天津46所

技术参数:

3、仪器主机功能与附件功能

3.1 单色化XPS,Al Kα,包括:

大面积XPS、小面积XPS、成像XPS、深度剖析XPS和角分辨XPS。

3.2 双阳极XPS,Mg/Al Kα

3.3 紫外光电子能谱,UPS

3.4 高压反应室

3.5 分析室样品冷/热台

4、仪器主要部件

4.1 超高真空分析室

180度半球能量分析器,

电子透镜传输系统,

16多通道电子检测器

分子泵,离子泵,钛升华泵

   单色化XPS (AlKα)系统,含内循环水冷却装置,

XPS成像系统,

双阳极XPS系统,冷却循环水和单色化系统共用

紫外光源,

荷电中和系统,用于绝缘样品或导电性差的样品的荷电补偿,

5轴样品台,

标准样品托 2个

Recessed样品托 1个

氩离子枪,用于深度剖析,

热双灯丝离子规,

闭路电视显微彩色摄像系统和SXI成像系统,

分析室和进样室都有独立光纤照明系统,

可观察视窗,视窗直径10cm左右,

样品热/冷台,温度可监测。

4.2 样品进样室

机械泵,分子泵 热双灯丝离子规,

可观察视窗,视窗直径10cm左右。

空气压缩机一台,国内采购

4.3 石英高压反应池

程序控温系统

真空监测系统

真空泵系统

进出气系统,参考南京大学用户设计建议。

压力 一个大气压

全石英底座

密封材料 Byton O-ring

**温度 600度

远红外线加热控温系统

单独石英反应器冷却系统

4 样品磁耦合传输系统

4.5 真空烘烤系统

4.6 主机系统集成,减震装置。

4.7 计算机系统,含数据采集和数据处理软件包。

4.8 与以上所有系统相关联的电子学控制柜。

5、仪器主要技术参数与要求

5.1 仪器主机功能,单色化Al Kα

5.1.1 大面积XPS

Ag3d5/2,1400umx100um, FWHM≤1.00eV时,灵敏度≥1,000,000 cps。

Ag3d5/2,1400umx100um, FWHM≤0.60eV时,灵敏度≥250,000 cps。

5.1.2 小面积XPS,*小分析面积≤10μm ,性能指标应达到:

Ag3d5/2,20μm, FWHM≤0.60eV时,灵敏度≥15,000 cps。

Ag3d5/2,10μm, FWHM≤0.60eV时,灵敏度≥4,000 cps。

Ag3d5/2,10μm, FWHM≤1.00eV时,灵敏度≥12,000 cps。

Typical value for 100um and 20um at 75degree and 45degree

75degree

Ag3d5/2,20μm , FWHM≤0.90eV时,灵敏度≥ 99kcps

Ag3d5/2,100μm , FWHM≤0.90eV时,灵敏度≥ 47kcps

45degree

Ag3d5/2,20μm , FWHM≤0.90eV时,灵敏度≥ 50kcps

Ag3d5/2,100μm , FWHM≤0.90eV时,灵敏度≥ 27kcps

5.1.3 成像XPS

单色化X射线扫描成像,**空间分辨率≤10 μm。

5.1.4 深度剖析XPS

聚焦扫描氩离子枪,当working distance为30 mm时.聚焦氩离子束斑≤150μm,当

working distance为60mm时候,聚焦氩离子束斑≤300μm束流密度≥0.5 mA/cm2。

5.2 仪器附件功能

5.2.1 双阳极XPS,MgKα,Ag3d5/2,FWHM≤1.40eV时,灵敏度≥1,000,000 cps。

5.2.2 紫外光电子能谱(UPS)

(a) 光源:He紫外光源,HeI:HeII=3:1

(b) 性能指标:分辨率(Ag费米边)≤120 meV时,灵敏度(Ag4d)≥2,000,000 cps。

(c) *小步长:5meV

5.2.3 高压反应室

(a) 材质:石英

(b) 内胆内压强:≥760Torr

(c) **温度,≥600℃

(d) 气体混合仓附计量装置,包括压力表、流量计和针阀等。

5.2.4 分析室样品冷/热台,温度:170 K–600 K,温度可检测,加热PID控制。

5.3 仪器主要部件参数与要求:

5.3.1 能量分析器

(a) 类型:半球能量分析器

(b) XPS能量范围: 0–1600 eV(25 meV)

UPS :0~320 eV(5 meV)

5.3.2 超高真空分析室

(a) SUS材质内表面经过特殊处理

(b) 真空:小于6.7×10-10 mbar

5.3.3 样品进样室

(a) 材质:非磁性不锈钢材料

(b) 真空:小于6.7×10-9 mba

5.3.4 深度剖析氩离子枪

100eV–5keV,连续可调,扫描型。

5.3.5 荷电中和系统:双枪中和系统。

5.3.6 样品控制台

(a) 轴向:5轴,

(b) 移动:各向移动距离必须与样品台尺寸相匹配,步进步长小于1μm,

(c) 倾斜:0–90°

5.3.7 计算机系统

(a) Pentium IV,CPU主频3.0GHz左右;

(b) 内存2G, 硬盘250 G;

(c) 2个DVD/CD-RW Combo光盘驱动器,

(d) 22" 液晶平板显示器;

(e) 4个USB2.0接口;

(f) 100M以上以太网接口,用于数据传输;

(g) 预装Windows XP正版软件;

( h ) 预装仪器操作软件和数据分析软件(含**的XPS数据库),附安装软件光盘;

主要特点:

1.世界上****扫描微聚焦X-射线source

2..世界上****扫描微聚焦X-射线产生的2次电子成像SXI像和XPS成像,可以帮助客户找到肉眼看不见的微观缺陷。

3。可以给出10um XPS sensitivity.其他公司不能。20um 的XPS sensitivity是其他公司同类产品的1倍以上。

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