仪器简介：

应用：

◆半导体及相关领域。

技术参数：

E-Square公司致力于提供专业的电浆（Plasma）清洗解决方案，公司生产的常压电浆清洗设备以其专业可靠的品质赢得了市场的一致认可。

主要特点：

◆无尘；

◆低温处理(基板上升温度:常温~5℃)；

◆无伤害(与UV灯处理相同程度) ，已申请专利；

◆无静电放电(处理后的ESD值为0~50V以内，由于正、负离子的产生，故处理前不需要负离子空气净化器装置)；

◆2年内免维修(2年一次的点检作业)；

◆小型、重量轻；

◆装置稼动率99.5%以上；

◆反应装置的部分几乎可**使用。