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柜谷科技发展（上海）有限公司
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半导体产业蚀刻清洗专用的聚氯乙烯制通风柜
特点
•可以在通风柜下台装入恒温水循环装置进行使用。
•内、外装都是使用硬质聚氯乙烯，*适合使用酸、碱等的蚀刻清洗。
•通过采用阻流板可以很好的排出比重较大的气体。
共通规格
内外装 | 硬质聚氯乙烯材料 5mm厚 |
操作台面（选定） | 硬质聚氯乙烯材料 5mm厚 |
门 | 透明聚氯乙烯材料 5mm厚 |
水栓 | 120型：2个（自来水、纯水用各1个） 150/180型：4个（自来水、纯水用各2个） |
插座 | AC220V 10A，2个 |
荧光灯 | 120/150型30W、180型40W各一个 |
规格
型号 | FHV-120 | FHV-150 | FHV-180 | |
外形尺寸 | 深×高 | 750×1850mm | ||
宽 | 1200mm | 1500mm | 1800mm | |
重量 | 约200kg | 约230kg | 约250kg | |
排气风量 | 10m3/min | 13m3/min | 15m3/min | |
机内静压（推荐值） | 50Pa（5mmH2O） | 59Pa（6mmH2O） | 40Pa（4mmH2O） | |
机型一览表
无排风机 | FHV-120 | FHV-150 | FHV-180 |
有排风机 | FHV-120B | FHV-150B | FHV-180B |
陶瓷钢板（K） | FHV-120K | FHV-150K | FHV-180K |
