技 术 参 数

稀释气的质量流量控制器

0～5L/min(可选：10L/min，20L/min)

源气质量流量控制器

0-100ml/min(可选：50ml/min，1L/min)

精度

±1.0% S.P.

稀释比例

3.5:1～950:1(标准），可选稀释比10000倍

流量重复性

＜0.5%

配气不确定度

＜1%

预热时间

30min

自动调零

预热结束后自动调整MFC的零点

源气进口

规格1\8"一个

稀释气进口

规格1\4"一个

标准气出口

规格1\8"一个

旁通出口

规格1\4"一个

操作显示

液晶大屏幕，内置软件，触屏操作

仪器电源

220VAC

使用环境

5℃～45℃

外型尺寸

427-380-185mm

仪器重量

约5kg

选配件：

流路全系统惰性选项：管线、接头和标准气经过的部件都硅烷化处理，可以满足硫化物等极性VOC的稀释。