粉体行业在线展览

产品

产品>

分析仪器设备>

制样/消解设备

>英国Nanobean NB5电子束光刻机

英国Nanobean NB5电子束光刻机

直接联系

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

德国

产品规格型号
参考报价:

面议

关注度:

614

产品介绍

产品详情

英国Nanobean NB5 电子束光刻机

具有良好的稳定性,平均正常运行时间超过93%

规格:

束流电压范围为: 20kV - 100kV

光刻胶的特征尺寸: <8nm (光刻精度)

500um区域拼接/叠加误差: 小于25nm

自动装载5卡盘气锁系统

NB5发展目标:

改进设计和组件以减少日常服务需求。

实现每年少于5%的机器故障停机时间。

提高性能

便于批量生产。

NB5系统将为进一步发展高偏转速度和进一步集成电子提供平台。

The nB4 is a generation ahead of the current competition and with its field-proven performance has gained acceptance in the market place. It has excellent stability and has demonstrated an average uptime of greater than 93%. NanoBeam now introduces the nB5 which has been developed to further reduce delivery times and service costs.

NB5 development aims:

Refine design and components to reduce routine service requirements.

Achieve a machine-fault-downtime of less than 5% annually.

Enhance performance

Facilitate volume production.

Specification:

Beam Voltage range 20kV - 100kV

Feature size on resist <8nm

Stitching/overlay error <25nm for 500um field

Automatic loading 5 chuck airlock system

The nB5 system will provide a platform for further development to high deflection speed and further integrated electronics.

产品咨询

英国Nanobean NB5电子束光刻机

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

请填写您的姓名:*

请填写您的电话:*

请填写您的邮箱:*

请填写您的单位/公司名称:*

请提出您的问题:*

您需要的服务:

发送

中国粉体网保护您的隐私权:请参阅 我们的保密政策 来了解您数据的处理以及您这方面享有的权利。 您继续访问我们的网站,表明您接受 我们的使用条款

英国Nanobean NB5电子束光刻机 - 614
深圳市蓝星宇电子科技有限公司 的其他产品

FLOW

制样/消解设备
相关搜索
关于我们
联系我们
成为参展商

© 2024 版权所有 - 京ICP证050428号