粉体行业在线展览

产品

产品>

分析仪器设备>

制样/消解设备

>德国Eulitha高分辨紫外光刻机PhableR 100

德国Eulitha高分辨紫外光刻机PhableR 100

直接联系

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

德国

产品规格型号
参考报价:

面议

关注度:

465

产品介绍

产品详情

德国Eulitha高分辨紫外光刻机PhableR 100

科研/生产兼用

简介:

PhableR 100 紫外光刻机是一套低成本的光学曝光系统,但却能获得高分辨率的周期性结构。同传统的紫外曝光机类似,涂覆了光刻胶的晶片以接近方式放置在掩膜版下面,被紫外光束照射。由于Eulitha拥有突破性的PHABLE 曝光技术,在"PHABLE"模式下,分辨率不再受到衍射的限制,从而曝光出亚微米的线性光栅和二维光栅(六角形和正方形),且曝光结果非常均匀,质量很 好;在"mask aligner"模式下,能非常轻松地获得微米尺寸的图形。

特点:

· 高效的大面积亚微米-纳米图形化设备

· 操作简单、工作稳定,兼容科研及批量生产

· 纳米周期性图案解决方案

优势:

· 大面积图形化设备:适用4、6、8寸衬底

· 高曝光效率:非步进式曝光,无拼接,单次全场曝光实现整片图形化

· 高精度:光学衍射自成像原理,突破传统曝光精度极限

· 非接触式曝光

· 设备没有景深限制,曝光过程无需对焦

· 双工作模式(UV375机型):高分辨模式(周期性纳米-微米结构),一般紫外光刻模式(非周期结构)

· 设备采用通用的商业光刻胶,根据客户的图形,提供工艺技术支持。

技术指标:

光源 UV375nm DUV266nm DUV193nm

分辨率 125nm 75nm 62nm

周期范围 250-3000nm 150-2500nm 125-2000nm

操作方式 手动装片-自动曝光 参数设置 触摸屏

基片尺寸 **4、6、8英寸(尺寸向下兼容)

PhableR 100 晶圆级光子学结构的曝光工具

应用:

· 图形化蓝宝石衬底(PSS)

· DFB布拉格光栅

· 减反层图形

· 显示滤光片Color Filter

· 线栅偏振Wire Grid Polarizer(WGP)

· 光子晶体

· 磁性纳米结构

· 太阳能光伏

· 生物传感器

· AR、VR技术

产品咨询

德国Eulitha高分辨紫外光刻机PhableR 100

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

请填写您的姓名:*

请填写您的电话:*

请填写您的邮箱:*

请填写您的单位/公司名称:*

请提出您的问题:*

您需要的服务:

发送

中国粉体网保护您的隐私权:请参阅 我们的保密政策 来了解您数据的处理以及您这方面享有的权利。 您继续访问我们的网站,表明您接受 我们的使用条款

德国Eulitha高分辨紫外光刻机PhableR 100 - 465
深圳市蓝星宇电子科技有限公司 的其他产品

FLOW

制样/消解设备
相关搜索
关于我们
联系我们
成为参展商

© 2024 版权所有 - 京ICP证050428号