德国Parcan（Nano analytik)扫描针尖电子束光刻机SPL

简介：

公司以全球****的针尖技术为核心竞争力，技术源自于德国伊尔默瑙工业大学，致力于主动式针尖技术在微纳米结构制备和表征方面的研发，及其相关设备的产业化。

公司研制一套基于扫描针尖低能电子场发射的原理、采用压阻式微纳米针尖和多维纳米定位与测量技术、在半导体器件材料表面制造尺寸小于5纳米线宽结构的高性能微纳加工系统。公司致力于为微纳米制造企业提供制备微纳米功能结构和功能器件（比如**速且*省电的基于单电子器件的芯片）的高性能设备和技术服务。

技术特点：

。场发射低能电子束

。大幅降低电子束背底散射

。几乎消除电子束临近效应

。光刻5纳米以下单线宽结构

。光刻结构间距小于2纳米

。接近原子级分辨的套刻精度

。线写速度高达 300 μm/s

。大气环境下可实现正负光刻

。正光刻流程无需显影步骤

。无需调制电子束聚光

。大范围分步重复工艺

。Mix & Match 混合光刻模式

。针尖曝光与结构成像实时进行

。真空原位观测光刻图案