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Tergeo EM型SEM及TEM样品/样品杆清洁专用等离子清洁仪
PIE Scientific专注研发先进的实验室用等离子仪器,用于SEM/TEM样品清洁、光刻胶蚀刻、等离子体增强沉积、表面处理与活化。我们的宗旨是:将半导体和核工程研究中开发的**等离子技术集成到经济实用的实验室用等离子仪器。
专为去除SEM & TEM样品的碳氢污染而设计。特有的双清洗模式(immersion和downstream)能够处理各种不同的样品,从严重污染的电子光学孔径光阑到各种脆弱易损样品,如石墨烯、碳纳米管、类金刚石碳膜以及多孔碳支持膜铜网上的TEM样品。石英样品托板上的孔洞可以安装标准SEM样品托。特别设计的适配器可以清洁不同厂家的TEM样品杆。
特点:
1. 系统具有双等离子源。浸入式等离子源用于主动表面处理、光刻胶蚀刻。远程式等离子源用于温和的污染清除以及脆弱易损样品的表面活化
2. 13.56MHz高频射频发生器
3. 7英寸触摸屏控制界面,全自动操作
4. 标配75W版本,可选150W版本
5. 标配2路气体输入,可选第三路气体输入
6. 可选与FEI、JEOL、HITACHI等TEM样品杆配套的专用适配器
7. AC输入:通用(110~230V, 50/60Hz)
除了Tergeo EM型SEM & TEM样品清洁专用等离子清洁仪,另有Tergeo Basic基本型等离子清洁仪和Tergeo Plus型大腔室等离子清洁仪,欢迎选购!
FORJ
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