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港东科技SGC-1A椭圆偏振测厚仪

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天津港东科技股份有限公司

天津

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557

产品介绍

仪器介绍:

近代科学技术的许多学科对各种薄膜的研究和应用日益广泛,因此,测得薄膜厚度和光学参数已变得更加迫切和重要。在实际工作中,常常使用椭圆偏振法来进行测量。这种方法测量灵敏度和精度较高,并且是非破坏性测量。他能同时测定薄膜的厚度和折射率。

本产品为手动方式调节仪器,测量薄膜的厚度和光学参数。清晰的展示了椭圆偏振测厚仪的各个部件的结构功能,调节方法,使用户可详细的了解椭圆仪的原理结构,并培养其动手操作能力。

技术指标:

编号

名称

参数

1

测量范围

1nm-300nm

2

测量*小值

≤1nm

3

入射角

30°~90°误差≤0.1°

4

偏振器方位角读数范围

0°~180°

5

度盘刻度

每格2度

6

游标*小读数

0.05°

7

光学中心高度

152mm

8

工作台直径

φ70mm

9

外形尺寸

730mm×230mm×290mm

10

主机重量

20kg

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天津港东科技股份有限公司

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