美国Filmetrics 光学膜厚测量仪 F60-C膜厚测量仪

自动化薄膜厚度分布图案系统

F60-c 光学膜厚测量仪先进的薄膜光谱反射系统，可以很简单快速地获得薄膜的厚度及 n&k， 采用 r-θ 极坐标移动平台，可以在几秒钟的时间内快速的定位所需测试的点并测试厚度， 可随意选择一种或极坐标形、 或方形、或线性的图形模式，也可以编辑自己需要的测试点。 针对不同的晶圆尺寸，盒对盒系统可以很容易的自动转换，匹配当前盒子的尺寸。 49点的分布图测量只需耗时约 45秒。

可测样品膜层

基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系数的薄膜都可以测量。例如

氧化硅 氮化硅 类金刚石 DLC

光刻胶 聚合物 聚亚酰胺

多晶硅 非晶硅 硅

免费现场演示/支持

点几下鼠标就可以在网络上在线看到现场演示！我们，我们的应用工程师会在电脑上为您演示薄膜测量是多么容易

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