接触电阻率测量仪 TLM

这款紧凑型仪器测量成品太阳能电池的接触电阻率，手指线电阻，手指宽度和手指高度，或者测试结构。

通过在所有轴上电动化，可以通过按一个按钮来创建所有这些方法的地图。

用于测量薄扩散层的薄层电阻和晶圆电阻率的四点探头，使得TLM-SCAN 成为一种低成本，快速，高质量的四点探针贴图仪。

使操作更简单的功能：

自动位置校正以获得**接触质量

盖子关闭时自动启动

自动采样编号

软件探头识别

精确的导航与欢乐棒和显微镜相机

通过点击图像来探测定位和重新测量单点

一个样品上多个TLM测试图案的批处理模式

序列模式通过按一个按钮来测量接触电阻率和手指几何图形的映射

TLM-SCAN+

接触电阻率测量及更多

方法：

接触电阻率

手指线电阻率

手指宽度与显微镜

与表面轮廓仪的手指高度

采用四点探针的晶圆电阻率

带四点探头的薄层电阻

强调：

可调TLM探头

覆盖整个太阳能电池

查克14条带独立真空条纹

TLM-SCAN

接触电阻率映射

采用合适的测试结构的传输长度方法是测量前端金属化接触电阻的*准确方法。然而，接触电阻可能在太阳能电池上显着变化，使得在成品太阳能电池上测量它的空间分辨方法是必要的。 TLM-SCAN创建了用激光或切割锯切割成条纹的太阳能电池的接触电阻率的映射。

特别决议：

所有结果在整个太阳能电池上的映射

单指分辨率

快速：

在一秒内测量8个针对之间的所有组合。

使用方便：

出色的重复性：在同一条纹上测量接触电阻14次。

mWcm2

灵活：

• 用于传统TLM测试图案和成品太阳能电池以及线路电阻的各种探头。

• 与其他测量结合使用

• 支持选择性发射器

精确：

• 分辨率通常为0.2mWcm2

• 报道了不确定性值

• 更正分流

• 正确解释中间手指

• 针检查无视四线接触设置无效的手指

• 没有光线相关的文物

• 没有连接到继电器矩阵的可靠性问题

• 在几秒内更换探头

• 存储在配方中的所有设置

• 自动位置校正以获得**接触质量

• 盖子关闭时自动启动

• 探头由软件识别

• 一个样品上多个TLM测试图案的批处理模式

以激情设计：

• 点击图像定位和重新测量单点

• 精确的游戏杆位置控制

• 机器上的功能按钮和自动编号可以在不触碰PC的情况下进行操作

• 评估并重新评估其他PC上的数据库测量结果