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台阶仪

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上海瞬渺光电技术有限公司

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产品介绍

品牌日本KOSAKA型号ET200
测量范围Max. 600μm测量精度0.001
电源电压AC100V±10%,用途测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损

KOSAKA LAB ET 200

微细形状测定机(探针接触式台阶仪

株式会社小坂研究所(KOSAKA)是于1950年创立的公司,也是日本**家發表光學

幹槓桿表面粗糙度計,是一家具有悠久歷史與技術背景的專業廠商主要有測定/自動/流體三

大部門。其中測定部門為**代表性單位且在日本精密測定業佔有一席無法被取代的地位。

设备特点

KOSAKA ET 200基于Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析,包

括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器

件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石(钻石)探针接触测量的方式来实现高精

度表面形貌分析应用。ET 200能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损

度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。

ET 200配备了各种型号探针,提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头,彩色CCD

原位采集设计,可直接观察到探针工作时的状态,更方便准确的定位测试区域。

规格

一、測定工件:

1.**工件尺寸:φ160mm

2.**工件厚?50mm

3.**工件重量:2kg

二、檢出器(pick up):

1. Z方向測定範圍:Max. 600μm

2. Z方向分解能:0.1nm

3.測定?min.1mgf,max.50mg

4.觸針半徑:2μm

5.驅動方式:直動式

6.再現性:1σ= 1nm

三、X(基準軸)

1.移动量(**測長)100mm

2.移動的真直?0.2μm/100mm

3.移動測定速?0.02 ~ 10mm/s

4.線性尺(linar scale):分解能0.1μm

四、Z軸:

1.移动量:50mm

2.移動速度:max.2mm/S

3.檢出器自動停止機能

4.位置決定分解能:0.2μm

五、工件台:

1.工件台尺寸:φ160mm

2.機械手動倾斜:±1mm/150mm

?、工件觀察:max.110(可選購其它高倍?CCD)

七、床台:材質為花崗岩石

八、防振台(選購)?地型或桌上型

九、電源:AC100V±10%,

50/60HZ, 300VA

十、本體外觀尺寸及重量:

W494×D458×H610mm, 120kg

(?含防震台)

KOSAKA LAB ET 200 台阶仪设备特点: KOSAKA ET 200基于Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析,包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石(钻石)****接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET 200能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。

ET 200配备了各种型号****,提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头,彩色CCD原位采集设计,可直接观察到****工作时的状态,更方便准确的定位测试区域。

规格 一、測定工件:

1. **工件尺寸:φ160mm

2. **工件厚度:50mm

3. **工件重量:2kg

二、檢出器(pick up):

1. Z方向測定範圍:Max. 600μm

2. Z方向分解能:0.1nm

3. 測定力:min.1mgf,max.50mg

4. 觸針半徑:2 μm

5. 驅動方式:直動式

6. 再現性:1σ= 1nm

三、X 軸 (基準軸):

1. 移动量(**測長):100mm

2. 移動的真直度:0.2μm/100mm

3. 移動,測定速度:0.02 ~ 10mm/s

4. 線性尺(linar scale):分解能 0.1μm

四、Z軸:

1. 移动量:50mm

2. 移動速度:max.2mm/S

3. 檢出器自動停止機能

4. 位置決定分解能:0.2μm

五、工件台:

1. 工件台尺寸:φ160mm

2. 機械手動倾斜: ± 1mm/150mm

六、工件觀察:max.110 倍(可選購其它高倍率CCD)

七、床台:材質為花崗岩石

八、防振台(選購):落地型或桌上型

九、電源:AC100V±10%, 50/60HZ, 300VA

十、本體外觀尺寸及重量: W494×D458×H610mm, 120kg (不含防震台)

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