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C11011-01W微米膜厚测量仪

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产品介绍

C11011-01W 微米膜厚测量仪

特性

  • 利用红外光度测定进行非透明样品测量

  • 测量速度高达60 Hz

  • 测量带图纹晶圆和带保护膜的晶圆

  • 长工作距离

  • 映射功能

  • 可外部控制

参数

型号C11011-01W
可测膜厚范围（玻璃）25 μm to 2900 μm*1
可测膜厚范围（硅）10 μm to 1200 μm*2
测量可重复性（硅）100 nm*3
测量准确度（硅）< 500 μm: ±0.5 μm； > 500 μm: ±0.1 %*3
光源红外LED（1300 nm）
光斑尺寸φ60 μm*4
工作距离155 mm*4
可测层数一层（也可多层测量）
分析峰值探测
测量时间22.2 ms/点*5
外部控制功能RS-232C / PIPE
接口USB2.0
电源AC100 V to 240 V， 50 Hz/60 Hz
功耗50W

*1：SiO2薄膜测量特性

*2：Si薄膜测量特性

*3：测量6 μm厚硅薄膜时的标准偏差

*4：可选配1000mm工作距离的模型C11011-01WL

*5：连续数据采集时间不包括分析时间

获取更多信息，请访滨松光子学商贸（中国）有限公司 网站

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