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全自动膜厚测量仪EA-160

全自动膜厚测量仪EA-160

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深圳市宇宸科技有限公司

广东

产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

PTC

型号:

全自动膜厚测量仪EA-160

关注度:

186

产品介绍


EA-160是一款全自动非接触式表面测量仪。利用光谱共焦原理,EA-160可用于膜厚线宽测量、微观尺寸测量、高度差测量、平面度测量、共面度测量、粗糙度测量等,也可对透明半透明材质进行多层尺寸测量。高精度、高速测量,结合强大易用的软件,EA-160膜厚测试仪被广泛应用于微电子、半导体、5G、3D玻璃、新型医疗、精密工业制造等领域。


应用领域:

HTCC膜厚线宽测量、LTCC膜厚线宽测量、SOFC印刷厚度测试、厚膜电路测量、晶圆涂胶测量、MEMS测量、SENSOR测量、太阳能硅片测量、芯片形貌测量、透明材质测量、环氧树脂测量、印刷图形测量、激光镭雕测量、Wafer槽深测量、断差测量、Lens测量、油墨厚度测量、蓝宝石厚度测量、曲面镜片测量


特点:

高速度、高精度自动测量系统

**160mm*160mm 范围测量

透明材质穿透测量

测量膜厚、线宽、平面度等

多程序自由切换,方便灵活


参数:

设备品名全自动非接触膜厚测试仪
设备型号EA-160
XY测量行程160*160mm
Z轴可调行程50mm
扫描*小步距1um
**扫描速度30mm/s
陶瓷检测重复精度±0.5μm
Z向分辨率1nm
横线分辨率0.1um
光栅尺分辨率0.01um
量程1200um
测试方式可编程自动测量
MARK类型圆形、方形、十字、菱形、多边形、不规则图形
载物平台微孔陶瓷真空吸附平台
膜厚测试支持
线宽测试支持
粗糙度测试支持
透明材料自动测厚支持
孔深、刻槽深度测试支持
测量原理光谱共焦
CCD视觉500万
红外激光对准器标配
数据输出Excel、CSV格式、JPG格式
数据分析CPK
数据统计平均值,**值,*小值,极差,标准差,CP,CPK,良率,总数
数据接口串口协议、网口协议
接口类型RS485、RS232、RJ45
数据存储存储位置任意指定
数据回测任意节点数据回测
MES信息化系统支持
设备日志具备
操作系统WIN10
校验标准块规标配
三角块规标配
外观尺寸950*650*500mm
电源AC220V±10%,50-60Hz
气源压缩空气0.3~0.7Mpa或真空气源
重量250KG
工控主机内存8G、固态硬盘480G、显示器23.8“、分辨率1920*1080,高速千兆网口PCI*2


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