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铌(钽)酸锂缺陷检测设备

铌(钽)酸锂缺陷检测设备

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合肥知常光电科技有限公司

安徽

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品牌:

知常光电

型号:

铌(钽)酸锂缺陷检测设备

关注度:

119

产品介绍

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铌(钽)酸锂缺陷检测设备(NOVA-2000-LN),是用于铌酸锂、钽酸锂等衬底晶圆的缺陷检测设备,可兼容黑化、半黑化、全透明等不同工艺类型,可检出颗粒物、划痕、凹坑、凸起、崩边、裂纹等缺陷,对晶圆的质量控制具有重要作用。

铌(钽)酸锂缺陷检测设备(NOVA-2000-LN)集成明场、暗场等多种检测模式,对各类缺陷提供可靠的缺陷信息,结合缺陷自动检测与分类算法,提取包括缺陷类型、尺寸、坐标、统计数据等在内的各顶缺陷数据,生成晶圆缺陷检测报告,供用户进行质量评估和判定。

铌(钽)酸锂缺陷检测设备
型号NOVA-2000-LN/LT
晶圆类型铌(钽)酸锂抛光衬底,黑化、半黑化、全透明等
晶圆尺寸4寸、6寸、8寸

检测方式

明场、暗场
产率≥20WPH(@6英寸晶圆,分辨率1μm)
≥12WPH(@8英寸晶圆,分辨率1μm)
自动化2 LoadPort


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