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铌(钽)酸锂缺陷检测设备
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铌(钽)酸锂缺陷检测设备
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产品介绍
铌(钽)酸锂缺陷检测设备(NOVA-2000-LN),是用于铌酸锂、钽酸锂等衬底晶圆的缺陷检测设备,可兼容黑化、半黑化、全透明等不同工艺类型,可检出颗粒物、划痕、凹坑、凸起、崩边、裂纹等缺陷,对晶圆的质量控制具有重要作用。
铌(钽)酸锂缺陷检测设备(NOVA-2000-LN)集成明场、暗场等多种检测模式,对各类缺陷提供可靠的缺陷信息,结合缺陷自动检测与分类算法,提取包括缺陷类型、尺寸、坐标、统计数据等在内的各顶缺陷数据,生成晶圆缺陷检测报告,供用户进行质量评估和判定。
铌(钽)酸锂缺陷检测设备 | |
型号 | NOVA-2000-LN/LT |
晶圆类型 | 铌(钽)酸锂抛光衬底,黑化、半黑化、全透明等 |
晶圆尺寸 | 4寸、6寸、8寸 |
检测方式 | 明场、暗场 |
产率 | ≥20WPH(@6英寸晶圆,分辨率1μm) |
≥12WPH(@8英寸晶圆,分辨率1μm) | |
自动化 | 2 LoadPort |
电脑组合体系VG42
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