N-TEC全自动晶圆贴片机BW 228-5FA

卖点

• SECS / GEM 功能

• 全自动晶圆贴膜

• 胶带消耗*小化

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翘曲片取片

机台优势

• 采用 UV-LED 灯组，无臭氧污染

• Loading / Unloading 卡匣数量多

• 双屏幕方便操作

• 重要统计数据可图表化

作业方式

操作人员将 6 吋晶圆卡匣（Loading）、晶圆出料卡匣（Unloading）、及各膜料放至预定位置后开始作业。

• 步骤一：利用机械手臂，将 6 吋晶圆从卡匣（Loading）取出，经中心对位（Alignment）及正反面判读后，再放置于晶圆吸附平台上。

• 步骤二：晶圆吸附平台移至胶膜贴合位，利用贴膜滚轮将胶膜贴至晶圆上。

• 步骤三：切割刀下降至预定位置，旋转刀具切割膜料，切割完成后上升。

• 步骤四：移载台移回至取片位。

• 步骤五：出料取片手臂机构将晶圆从移载台取至 UV-LED 灯机构位进行照射。

• 完成 UV 照射后，出料取片手臂机构再将成品取回，放至晶圆出料卡匣（Unloading），完成。

设备规格

设备应用范围

机台特性