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热蒸发镀膜机

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上海载德半导体技术有限公司

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产品介绍

热蒸发镀膜机 - 极高性价比!

型号:EasyDEP

产地:韩国原装进口

仪器特点:

1/ 沉积材料:金属;

2/ 膜厚均匀性:≤ ± 5 % (4英寸基底);

3/ 沉积方式:热蒸发舟;

4/ 极限真空:5.0 x 10 -6 Torr;

技术规格:

1/ **样品尺寸:6英寸;

2/ 基底旋转:0~10rpm;

3/ 不锈钢腔体,ID250 x H300 mm;

4/ 真空泵:机械泵,150L/Min;扩散泵,215L/Sec;

5/ 薄膜厚度监控:石英振荡传感器实时厚度控制;

6/ 厚度精度:0.5%;

7/ 热蒸发源:4英寸热蒸发舟,交流电源;

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