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高温沉积系统(PECVD or Sputter)

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上海载德半导体技术有限公司

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719

产品介绍

技术规格:

- 基底尺寸:10cm x 10cm;

- 温度:800摄氏度;

- PECVD(等离子体增强化学气相沉积)或者Sputter(磁控溅射镀膜);

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高温沉积系统(PECVD or Sputter)

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