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SiC单晶生长设备
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SiC单晶生长设备
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SIC单晶生长设备
1、生长反应装置中安装有上、下2个温度传感器，可准确计算出晶体生长的**△T；
2、特殊的RF-Coil(加热线圈)设计和电源供应设备的**结合，为晶体生长提供稳频、稳压的电源；
3、特殊的热场设计，可实现8~10次的循环使用，降低生产成本；
4、晶体生长全过程可达到自动化及数据记录和管理；
5、优越的真空、气体、冷却水控制功能，可确保长时间稳定、安全的晶体生长。
