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ATI-1000S型高温半导体材料体积电阻率测定仪/半导体电阻率测量仪主要用于半导体材料导电性能的评估和测试,该系统采用四线电阻法测量原理进行设计开发,可以在高温、真空气氛的条件下测量半导体材料电阻和电阻率,可以分析被测样品电阻和电阻率随温度、时间变化的曲线。半导体材料体积电阻率测定仪/半导体电阻率测量仪目前主要针对圆片、方块、长条等测试样品进行测试,可以广泛用于半导体材料硅(si)、锗(ge),化合物半导体材料砷化镓(GaAs)、锑化铟(InSb),三元化合物半导体GaAsAl、GaAsP,固溶体半导体,如Ge-Si、GaAs-GaP等的块体材料的电阻率测量等材料的电阻率测量。
技术参数:
温度范围:RT-1000℃
升温斜率:0-10℃/min (典型值:3℃/min)
控温精度:±0.5℃
电阻测量范围:0.1mΩ~1MΩ
电阻率测量范围:100nΩ..cm~100KΩ .cm
测量环境:惰性气氛、还原气氛、真空气氛
测量方法:四线电阻法
测试通道:单通道
样品尺寸:10mmx10mmX20mm或φ<20mm ,d<5mm
电极材料:上电极半圆型铂金电极,下电极平板型铂金电极
绝缘材料:99氧化铝陶瓷
数据存储格式:TXT文本格式
数据传输:USB
符合标准:ASTM
供电:220V±10%,50Hz
工作温度:5℃ 至 + 40 ℃;
存储温度:–40 ℃ 至 +65 ℃
工作湿度:+40 ℃ 时,相对湿度**达 95%(无冷凝)
设备尺寸:400x450x580mm
重量:38kg
产品特点:
■ 高温炉膛、测量夹具、测量软件等集成于一体,让操作变得更加简单,测量精度则会更高;
■ 触摸屏控制和显示,同时支持外接键盘和鼠标操作,满足多样化需求;
■ ATI电阻率测量软件兼容世界主流仪表Keithley 2400,扩展应用更加方便;
■ 可以实现常温、高温、真空、气氛条件下测量半导体材料的电学性能;
■ 专业的测量软件,可以测量半导体材料的方块电阻和电阻率;
■ 进口纤维一体开模铸造的高温炉膛,**耐温1100℃;
■ 内胆采用进口金属材料,耐高温、抗氧化,可实现常温、高温、真空、流动气氛等多种试验环境下的电学测量;
■ 为了减小高温下导线受电炉丝的交流信号干扰而建立了金属屏蔽罩,有效减小外部信号的干扰和增加测试频率带宽;
■ 采用九点控温法,以传感器为中心点,其半径20mm的圆环上均匀铺设八个温度采集点,九个温度点范围内采集到的温度**温差为1℃,此范围为样品测试的**温区;
■ 弹簧夹具设计,弹簧的可压缩性既不损伤样品又能实现样品的良好接触;
■ 上电极半球状+下电极平板状结构设计,可以精确定位测量被测样品某一点;
■ 控温和测温采用同一个传感器,保证样品每次采集的温度都是样品实际温度;
■ 采用九点控温法,九个温度点范围内采集到的温度**温差为1℃,此范围为样品测试的**温区;
■ 电极支撑和屏蔽采用进口合金材质,利用叶片设计可以很好解决因平台带来的热弛豫影响;
■ 可以测量半导体材料的方块电阻、电阻率,实现常温、变温、恒温条件的I-V、R-T、R-t等测量功能;
■ 操作简单,功能强大的测量软件,可以通过输入样品的面积和厚度,软件自动计算样品的电阻率ρv;
■ 智能化控制,可自动调节施加在样品的测试电压,以防样品击穿;
■ 采用**的RAM嵌入式开发平台,可以进行在线升级、远程协助及故障诊断;
■ 测量软件终身免费设计;