实验电炉-1200℃集成型自动小型PECVD系统-天津中环电炉股份有限公司-产品详情

1200℃集成型自动小型PECVD系统

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天津中环电炉股份有限公司

天津

产品规格型号

参考报价：

20-30万元

品牌：

中环

型号：

1200℃集成型自动小型PECVD系统

关注度：

5583

范围（量程或细度）：

产品介绍

产品用途

PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。

PECVD系统配置；

1.1200度开启式滑动单温区真空管式炉

2.等离子射频电源

3.多路质量流量控制系统

4.真空系统（单独购买）

产品特性;

电源范围广；温度范围宽；溅射区域长；整管可调；精致小巧，性价比高，可实现快速升降温，是实验室生长薄膜石墨烯，金属薄膜，陶瓷薄膜，复合薄膜等的理想选择，也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用。

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1200℃集成型自动小型PECVD系统

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