iPHEMOS-MPX是一款高分辨率倒置发射显微镜，通过检测缺陷引起的弱光发射和热发射来精确定位半导体器件中的故障位置。

利用它独特的倒置设计，iPHEMOS-MIP使半导体器件在点针的同时来分析背面成为可能。加装测试机后，它还能够轻松驾驭多种形式的分析。

该平台可以安装多个探测器和激光器，可以选择**的探测器来执行各种分析方法，如光排放和产热分析，IR-0BIRCH分析等等。

此外，通过测试连接，使动态分析有效地执行。

通过安装300毫米品圆探头，支持从单个芯片到品圆的测量。可通过探针卡进行多针接触，并可在PC板上观察样品。