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陶瓷坩埚
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中昱新材料
陶瓷坩埚
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陶瓷坩埚广泛应用于多晶硅生产,其独特的均质结构和略高的气孔率,使制品热震稳定性好、抗炸裂能力强。特别适合氮化硅涂层的喷涂,涂层不容易剥落。坩埚模具加工精度高、使用寿命长,坩埚尺寸一致性好,壁厚可以根据需要精确控制、上下基本等厚,有利于铸锭过程中热场的合理分布,更能满足铸锭工艺对坩埚外观尺寸的特定要求,提高铸锭质量。根据多晶硅铸锭的工艺要求,熔制好的硅料在长晶过程中,坩埚侧壁有一定的保温效果,并且受热要均匀,所以从理论上讲,侧壁较厚、上下均匀的坩埚有利于硅料的长晶。