罗茨螺杆机组是由罗茨真空泵作为主抽泵，螺杆真空泵作为前级泵组成的罗茨螺杆真空机组，该机组比单台的螺杆真空泵更适合于在低压下工作。

该机组的设计因为不再使用密封液或大量的真空油，从而减轻环境污染；干式螺杆泵工作时，相互之间无摩擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸气及少量粉尘的气体场合。由于螺杆制成变螺距结构，被抽气体再工作腔内有压缩，与等螺距结构相比，极限真空度更高，而消耗功率更低，具有节能、免维修等优点，也是油式真空泵的更新换代产品。