设备特点与技术指标：
  1、机组组成：复合分子泵+机械泵；
  2、真空度：
  A、设备真空度在分子泵启动到400Hz后优于3*10^-3Pa;
  B、30分钟以内优于5*10^-5Pa;
  C、极限真空5*10^-5Pa。
  3、机组特点:
  机组为可移位台式小车结构，能够满足不同位置排气的需要。机组配备预抽排气系统，可在分子泵不停止的状态下实现换工件、预抽真空、抽高真空的排气流程，缩短了排气时间，有效提高了工作效率。

机组配置:

  1、300升/600升水冷复合分子泵1台。
  2、抽速12L/s机械泵1台。

  3、40角阀一套。

  4、高真空复合真空计1套。(包括电离规、电阻规)
  5、直径108mm*高80mm（150mm*高200mm）真空室1套。
  6、带脚轮、围板及不锈钢台面的小车1套。
  7、水冷机1台。