大口径真空压力调节器（真空背压阀）：EVR系列

Eyoung Vacuum Regulator（EVR Series）

—— 负压和正压调节、口径1/8"~4"、高速精密、手动或电子控制

一、简介

EVR系列调节器是一种常闭调压型真空压力调节装置，可直接对气密性容器的真空压力（负压或正压）进行高速调节，调节方式采用顶部气控先导阀，先导阀可采用手动和电子控制形式。

EVR系列产品是专门为大口径和快速控制等工业应用需求所设计的高速真空压力调节器，如各种CVD、聚合物精密成型和精密真空蒸馏等工艺，是目前常用进口高速电动阀门（MKS、CDK和VAT等蝶阀）的国产化替代产品。

EVR系列产品可配各种手动和电子控制形式的先导阀，可形成开环和闭环控制回路。通过外接真空计并与依阳公司VPC2021系列真空压力控制器相结合，可构成闭环形式快速高精度可编程真空控制回路。

二、技术指标和尺寸

三、特点

（1）大口径和快速响应，可满足真空工艺中对快速控制的要求。
（2）免拆装式的阀芯更换方式，便于有污染真空工艺中EVR调节器的维护。
（3）整个 EVR系列调节器都可以采用同款小尺寸先导阀进行气控驱动。
（4）可应用在高温场合，先导阀可布置在较远位置，耐温只取决于密封材料。
（5）可应用在强腐蚀场合，甚至一些对FFKM有溶胀的场合（如二氧化碳和溴化锂等）。
（6）通过连接真空源和压力源以及快速切换，可进行负压或正压的单独控制以及正负压过程的连续控制。
（7）可进行防爆设计和操作，先导阀与EVR系列调节器可远距离分离，避免先导阀的电磁干扰。

四、应用

（1）CVD工艺中MKS下游排气高速节流阀的国产化替代方案及产品

（2）工业减压蒸馏工艺中大流量耐腐蚀快响应精密真空控制的解决方案

（3）低压与高压（负压与正压）之间的真空压力连续控制解决方案

（4）呼吸阀检验装置中的正负压连续精密控制解决方案

（5）快速响应的大口径背压阀在聚合物挤出机定径箱真空度精密控制中的应用

（6）电气比例阀作为先导阀结合真空背压阀和外置传感器实现低气压控制的考核试验

（7）真空钎焊炉中大流量正负压循环控制的解决方案

（8）温度敏感材料干燥过程中的真空度精密控制解决方案

（9）工业应用中0.1%超高精度PID控制器的实现及其关键指标分析

（10）表压0.1~0.6MPa范围内0.1￿%超高精度压力控制解决方案及其考核试验结果