AccuSizerRMini在线颗粒监测仪采用模块化设计，可根据客户特定需求匹配各类功能模块，进行在线颗粒监测，其中LE40O、FX和FXNano的传感器选项提供了更大的检测范围和浓度限制。根据不同类型的样品采用不同传感器与进样模块配对，可自由切换不稀释、一步稀释或二步稀释模式。这种设计可允许我们在应用实验室中检测多种类型样品，并可在生产过程实时监测出真实的结果。

除了模块化设计，AccuSizerR Mini的样品混合仓和传感器清洗均为自动化，确保数据的准确性和持续一致性。AccuSizerRMini采用集成电脑触屏显示器的设计，可减少回到实验室里监控数据的频率，并且还可以在工艺生产线中实时监测以及进行连续的数据采集。与市场上的任何其他仪器不同，AccuSizer° Mini可在几分钟内真实统计到数十万个粒子，而一般设备可能需要花费数小时。

奥法美嘉公司为半导体芯片制造商提供了集成的多点过程控制系统，用以监控其研磨液分配。通过实时监测趋势变化，可在出现重大问题前停止生产或用于预防下道工序缺陷的产生。AccuSizerR Mini是为工艺生产线的特殊要求而计。完全嵌入式的PLC设备可以通过企业自身的LIMS系统进行控制和监控，从而使系统更加效率并且易于使用。通过单颗粒光学传感技术而实现高精度检测,AccuSizerRMini可以看到远离主峰几个ppb水平标准差的LPC分布。可以快速统计到几十万个粒子。

AccuSizer A2000采用单颗粒光学传感技术，单个粒子迪过狄窄的尤恶区的阳扫』一D刀八九r\P的了吉似R的入射光强度瞬间降低，强度信号的衰减幅度理论上与杠于惧截且(N仅供国P十晒约通过当咸区产牛的信号，的平方成比例。用标准粒子建立粒径与强度信号大小的校正曲线。仪器测得样品中颗粒通过光感区产生的信号，根据校正曲线计算出颗粒粒径。传统光阻法的范围下限一般到1.5um。AccuSizer通过光散射增加对小粒子的灵敏度，将单颗粒传感器的计数下限拓展至0.5um。