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掩膜版|保护膜表面颗粒物快速检测系统(PDS)

FM-PR-PDS

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复纳科学仪器(上海)有限公司

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品牌:

Fastmicro

型号:

FM-PR-PDS

关注度:

125

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产品介绍

Fastmicro 掩膜版|保护膜表面颗粒物快速检测系统(PDS)


为掩膜版、掩膜版保护膜以及基板(衬底)制造工艺,提供高通量的表面颗粒污染检测服务。

该系统对粒径大于 0.1µm 的颗粒具有高灵敏度,是一种高效且提供全方位服务的选择。它能以手动或自动的操作方式,以及较低的维护成本,取代传统的颗粒检测系统。


产品特点:

  • 高通量检测:每小时可检测 400 片晶圆(WPH)

  • 数据输出:根据 ISO 14644-9 标准,在用户界面和 PDF 报告输出 SCP 等级

  • 正反两面检测:单次测量中完成正反两面检测(无需翻转)

  • 检测范围:能够检测 ≥ 0.1µm 聚苯乙烯乳胶(PSL)等效颗粒(经 NIST 认证)


生产过程中的一致性测量

快速: 能在数秒内完成大面积成像

定量: 适用于生产和研发环境中的质量鉴定与监测

操作简便: 不受操作人员影响,自动化,洁净抓取方式

精准: 高分辨率测量(数量、位置、尺寸)

一致性: 每次测量都保持客观、稳定

高通量: 能在工艺时间窗口内得出结果



FM-PDS掩膜-产品.png

FM-PDS: 直接检测表面颗粒

该系统可为晶圆制造工艺、下一代化合物半导体以及先进封装应 用,提供高通量的表面颗粒污染检测服务。 

该系统对粒径大于 0.1μm 的颗粒具有高灵敏度,是一种高 效且提供全方位服务的选择。

它能以手动或自动的操作方式,以及 较低的维护成本,取代传统的颗粒检测系统。 

对于下一代半导体生产应用, PDS 系统具备独特的属性:双面同 时扫描(选配);

静态视场扫描(在图像采集过程中无需移动产品)。



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