主要技术指标

◆X射线管：铜靶，阳极接地，强制风冷

◆管电流：0～4mA，连续可调

◆管电压：30KVP

◆整机功率：不大于2KW

◆控制方式：计算机

◆射线窗口控制：电动光闸

◆测量精度：±15″

◆射线管和探测器运动方式：计算机控制联动或单动

◆探测器电压：闪烁探测器500V～1100V

◆可测晶棒重量：20Kg

◆可测晶棒、晶片直径：2～8英寸

◆可测**长度：400mm

◆整机外形尺寸：1020×950×1900(mm)

◆重量：350Kg