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材料的热物理性质以及*终产品的传热优化在工业应用领域变得越来越重要。
经过几十年的发展,闪射法已经成为常用的用于各种固体、粉末和液体热导率、热扩散系数的测量方法。
薄膜热物性在工业产品中正变得越来越重要,如:相变光盘介质、热电材料、发光二极管(LED ) ,相变存储器、平板显示器以及各种半导体。在这些工业领域中,特定功能沉积膜生长在基底上以实现器件的特殊功能。由于薄膜的物理性质与块体材料不同,在许多应用中需要专门测定薄膜的参数。
基于已实现的激光闪射技术,LINSEIS TF-LFA 薄膜导热测试仪(Laserflash for thin films)可以测量80nm——20μm厚度薄膜的热物理性质。
1.瞬态热反射法(后加热前检测(RF)):
由于薄膜材料的物理性质与基体材料显著不同,必需要有相应的技术来克服传统激光闪射法的不足,即瞬态热闪射法。
测量模型与传统激光闪射法相同:检测器和激光器在样品两侧。考虑到红外探测器测试薄膜太慢,因此检测是通过热反射方法完成的。该技术的原理是材料在加热时,表面反射率的变化可*终用于推导出热性能。测量反射率随时间的变化,得到的数据代入包含的系数模型里面并快速计算出热性能。
2. 时域热反射法(前加热前检测(FF)):
时域热反射技术是另一种测试薄层或薄膜热性能(热导率,热扩散率)的方法。测量方式的几何构造被称为“前加热前检测(FF)”,因为检测器和激光在样品上的同一侧。该方法可以应用于非透明基板上不适合使用RF技术的薄膜层。
3. 瞬态热反射法(RF)和时域热反射法(FF)相结合:
两种方法可以集成在一个系统中并实现两者优点的结合。
温度范围* | RT |
RT -- 500°C | |
-100°C -- 500°C | |
激光器 | Nd:YAG 激光 |
脉冲电流 | ≤90mJ (软件控制) |
脉宽 | 8 ns |
激光探头 | HeNe-激光器 (632nm), 2mW |
前端热反射 | Si-PIN-Photodiode, 有效直径: 0.8 mm, |
直流电压 … 400MHz, 响应时间: 1ns | |
后端热反射 | quadrant diode, 有效直径: 1.1 mm |
直流电压 … 100MHz, 响应时间: 3.5ns | |
测量范围 | 0,01 mm2/s -- 1000 mm2/s |
样品直径 | 圆形样品 φ10...20 mm |
样品厚度 | 80 nm -- 20 μm |
样品数量 | 6样品自动进样器 |
气氛 | 惰性、氧化性、还原性 |
真空度 | 10E-4mbar |
电路板 | 集成式 |
接口 | USB |
*可更换炉体
*价格范围仅供参考,实际价格与配置等若干因素有关。如有需要,请拨打电话咨询。我们定会将竭尽全力为您制定完善的解决方案。
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