薄膜材料广泛应用于光学和电气保护膜，薄膜光伏电池和薄膜电池等各种领域中。尽管薄膜材料已经存在了数十年，但热导率测量方法传统上一直专注于探索块体材料样品，而表征这些特殊材料的能力相对滞后。近年来，由于热管理非常重要的纳米和微米级制造技术的进一步发展，知识鸿沟逐渐缩小，而Trident薄膜导热测试仪的Flex TPS瞬态平面源即是一种用于表征薄膜材料导热率的新颖工具。

C-Therm Trident薄膜导热测试仪的Flex TPS瞬态平面热源法传感器，可按照ISO 22007-2标准，用于表征薄膜材料的热传递性质。Flex TPS专门的薄膜模块，可测量厚度为20um ~ 1 mm样品的导热系数和热扩散系数。并且Trident主机，除TPS方法外，还可与MTPS和TLS传感器连用，测试更多不同类型的材料。

技术参数

无论是散热还是绝热，薄膜的导热系数测试都具有非常重要的意义。由于薄膜材料厚度很小， 对声子散射，这使得薄膜材料的表观导热率与块体材料相比，会有很大的差异。传统的实验室测试方法中包含3ω方法，此方法在1989年提出。该方法需先在被测样品表面镀一根薄的金属膜，而此金属膜即是加热装置，同时又是测温装置。对该金属膜通交流电，从而对样品进行加热。因为金属的电阻率会随温度的升高而增大，因此金属膜的温度变化会带来金属膜阻值的温度变化，该阻值与电流的共同作用产生电压。使用锁相放大器提取电压信号，从而建立传热模型。通过改变电流频率，*终计算出被测样品的导热系数。但此测试方法操作繁琐，限制条件较多，且无法商业化。