微-纳米薄膜材料的热导率测量-薄膜热导率测试系统（TCT）

本仪器采用 3ω测试方法， 利用微/纳米薄膜材料导热引起加热器电信号的变化来检测其热导率。主要应用范围为微/纳米薄膜材料的热导率测量，可广泛应用于辅助各种功能薄膜材料的研究与开发，其涵盖范围包括高等院校及科研院所、集成电路散热材料、航空航天材料、热电材料与器件、信息存储与光电器件。

产品优势

可测量薄膜材料的热导率，尤其是微/纳米薄膜材料热导率的高性能测量；

不直接测量温度变化，而是通过测量材料在导热过程中温度的变化转换为的电信号的变化来实

现微/纳米薄膜材料的热导率，微伏级电压值，保证测量结果的高精确度；

采用交流电加热方式，同时选择并优化设计加热电极的形状与尺寸，可保证加热均匀性及测试

应用的广泛性、准确性与稳定性；

待测薄膜样品材料尺寸极小，能有效减小黑体辐射引起的测量误差；

可在真空及温度可控环境下测试，有效避免因环境温度变化和空气热传导而引起的测量误差；

友好的软件界面。

技术原理

本产品技术方案核心为 3ω测试法，其主要原理为在待测薄膜材料表面淀积一层金属电阻条，往金属条两端施加频率为ω的电流，那么在焦耳热的作用下该金属条将产生频率为 2ω的温升，由于金属条一般表现出正电阻温度系数，这将导致其电阻值也产生频率为 2ω的波动，这个频率为 2ω的电阻与频率为ω的电流耦合将产生一个在频率为 3ω的小电压信号 V 3ω 。该小信号电压的幅值与待测材料的热导率有关，因而检测该电压信号后通过相关计算，就可求出待测材料的热导率 K s 。

技术参数

温度范围 100K~400K （可拓展到高温）

测量对象 绝缘块材，绝缘薄膜，导电薄膜

测定精度（热导率） ± 10%

适合氛围 真空或者大气

样品尺寸 长 x 宽：10 x 10 ~ 20 x 20mm 2

厚度：10nm ~ 10um

其他注意事项 导电薄膜表面要非常光滑，绝缘层不漏电

应用

本测试系统广泛应用于辅助各种功能薄膜材料的研究与开发，其涵盖范围包括高等院校及科研

院所、集成电路散热材料、航空航天材料、热电材料与器件、信息存储与光电器件。